【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于有机合成,涉及一种光刻胶用抗蚀剂硫鎓盐的制备方法,尤其涉及4-叔丁基苯基-二苯基硫鎓对甲苯磺酸盐的制备方法。
技术介绍
1、硫鎓盐可以在紫外光区或可见光区吸收一定波长的能量,产生自由基、阳离子等,从而引发单体聚合交联固化的化合物,常被用于化学放大型光刻胶的光产酸剂。在硫鎓盐中引入磺酸等亲水的基团,还能有效抑制斑点缺陷的产生。
2、本专利技术的目标产品4-叔丁基苯基-二苯基硫鎓对甲苯磺酸盐就是这种光产酸剂,cas号为145639-75-4,其结构式如式1所示。
3、
4、制备该类产品的关键步骤是需要制备相应的中间体三苯基硫鎓盐,即(4-(叔丁基)苯基)二苯基溴化硫。例如文献号为200610113557.1的中国专利技术专利申请,以亚砜类物质和特定的苯类物质为原料,在二氯亚砜和三氯化铝的催化作用下,能够得到相应的三苯基硫鎓盐,但是该反应的收率非常低,最高仅有50%。因此,需要进一步对合成路线和制备工艺进行研究和开发,以得到适合工业化推广、产品收率更高的制备方法。
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【技术保护点】
1.4-叔丁基苯基-二苯基硫鎓对甲苯磺酸盐的制备方法,其特征在于,通过两步法制备所述的4-叔丁基苯基-二苯基硫鎓对甲苯磺酸盐,具体步骤为:
2.根据权利要求1所述的4-叔丁基苯基-二苯基硫鎓对甲苯磺酸盐的制备方法,其特征在于,所述的引发剂为三甲基氯硅烷或氢化二异丁基铝中的任意一种或组合;所述的引发剂的加入方式为以0.008mol/min~0.01mol/min的速率进行滴加。
3.根据权利要求2所述的4-叔丁基苯基-二苯基硫鎓对甲苯磺酸盐的制备方法,其特征在于,所述的引发剂为摩尔比为1:0.1~0.3的三甲基氯硅烷和氢化二异丁基铝。
【技术特征摘要】
1.4-叔丁基苯基-二苯基硫鎓对甲苯磺酸盐的制备方法,其特征在于,通过两步法制备所述的4-叔丁基苯基-二苯基硫鎓对甲苯磺酸盐,具体步骤为:
2.根据权利要求1所述的4-叔丁基苯基-二苯基硫鎓对甲苯磺酸盐的制备方法,其特征在于,所述的引发剂为三甲基氯硅烷或氢化二异丁基铝中的任意一种或组合;所述的引发剂的加入方式为以0.008mol/min~0.01mol/min的速率进行滴加。
3.根据权利要求2所述的4-叔丁基苯基-二苯基硫鎓对甲苯磺酸盐的制备方法,其特征在于,所述的引发剂为摩尔比为1:0.1~0.3的三甲基氯硅烷和氢化二异丁基铝。
4.根据权利要求1所述的4-叔丁基苯基-二苯基硫鎓对甲苯磺酸盐的制备方法,其特征在于,所述的有机溶剂是二氯甲烷或二氯乙烷。
5.根据权利要求1所述的4-叔丁基苯基-二苯基硫鎓对甲苯磺酸盐的制备方法,其特征在于,s1步骤中的提取纯化是反应结束后,将反应液ph值调至酸性,静置分液,留取有机相,水相用有机溶剂再次提取,合并有机相后旋干,震荡脱色,再次静置分液,留取下层液体,旋干溶剂后经打浆、过滤、烘干得到所述的中间体。
...【专利技术属性】
技术研发人员:贺静,刘鹏,张民,赵士毅,张红霞,
申请(专利权)人:河北圣泰材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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