一种基于压电薄膜的通带可调声延迟线制造技术

本发明专利技术提供一种基于压电薄膜的通带可调声延迟线，涉及微波声学器件及其信号处理技术领域，所述基于压电薄膜的通带可调声延迟线，包括：压电薄膜，具有相对的第一表面和第二表面，压电薄膜用于传输Lamb波；输入换能器，设置于压电薄膜的第一表面，输入换能器用于将电信号转换为Lamb波传入压电薄膜；输出换能器，设置于压电薄膜的第一表面，且输入换能器与输出换能器间隔设置，输出换能器用于接收压电薄膜传播的Lamb波，并将接收到的Lamb波转换为电信号；以及加热模组，设置于压电薄膜的第二表面，并与输入换能器、输出换能器的位置对应，加热模组用于对输入换能器和/或输出换能器位置处的压电薄膜进行加热，以改变压电薄膜的杨氏模量，进而使声延迟线的通带产生频移。本发明专利技术提供的通带可调声延迟线，可适用于多种压电薄膜平台，满足高频、高效率及大调制范围的通带调制需求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微波声学器件及其信号处理，特别是涉及一种基于压电薄膜的通带可调声延迟线。

技术介绍

1、随着射频微机电系统技术的不断发展，基于声波的调制器件在无线通信、传感和信号处理等领域受到广泛关注。

2、然而，传统谐振式热声调制器通常采用独立于换能器区域的加热单元，不仅降低了热传递效率，还增加了器件结构的复杂性。此外，由于谐振器的锚结构较为脆弱，使得此类器件的调制范围较小，难以满足宽频调制的需求。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种基于压电薄膜的通带可调声延迟线，用于解决现有技术中的谐振式热声调制器热传递效率，且调制范围较小，难以满足宽频调制的需求的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种基于压电薄膜的通带可调声延迟线，包括：压电薄膜，具有相对的第一表面和第二表面，压电薄膜用于传输lamb波；输入换能器，设置于压电薄膜的第一表面，输入换能器用于将电信号转换为lamb波传入压电薄膜；输出换能器，设置于压电薄膜的第一表面，且输入本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于压电薄膜的通带可调声延迟线，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于压电薄膜的通带可调声延迟线，其特征在于，所述加热模组包括第一加热器，设置于所述压电薄膜的第二表面，并与所述输入换能器对应。

3.根据权利要求2所述的基于压电薄膜的通带可调声延迟线，其特征在于，所述输入换能器包括依次设置的第一接地电极、第一信号电极和第一悬浮电极；

4.根据权利要求2所述的基于压电薄膜的通带可调声延迟线，其特征在于，所述加热模组包括第二加热器，设置于所述压电薄膜的第二表面，并与所述输出换能器对应。

5.根据权利要求4所述的基于压电薄膜的通带...

【技术特征摘要】

1.一种基于压电薄膜的通带可调声延迟线，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于压电薄膜的通带可调声延迟线，其特征在于，所述加热模组包括第一加热器，设置于所述压电薄膜的第二表面，并与所述输入换能器对应。

3.根据权利要求2所述的基于压电薄膜的通带可调声延迟线，其特征在于，所述输入换能器包括依次设置的第一接地电极、第一信号电极和第一悬浮电极；

4.根据权利要求2所述的基于压电薄膜的通带可调声延迟线，其特征在于，所述加热模组包括第二加热器，设置于所述压电薄膜的第二表面，并与所述输出换能器对应。

5.根据权利要求4所述的基于压电薄膜的通带可调声延迟线，其特征在于，所述输出换能器均包括依次设置的第二接地电极、第二信号电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴涛，李羕，
申请(专利权)人：上海科技大学，
类型：发明
国别省市：