一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划系统，具体涉及路径规划领域，包括设备坐标编码模块、数据采集模块、时空网格构建模块、多车任务优先级排序模块、动态引力场路径建模模块以及路径算法优化模块；数据采集模块：通过所述环境感知终端实时采集目标数据，为路径规划提供输入信息；动态引力场路径建模模块：通过所述路径算法规划终端构建引力场势能函数和路径约束条件，定义路径规划的优化目标与物理限制；本发明专利技术通过在洁净室三维空间构建动态与静态属性的时空网格模型，并建立动态引力场势能函数引导路径搜索，提升了路径规划能力，达到了将晶圆平均滞留时间减少、路径规划周期缩短的高效调度效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及路径规划，更具体地说，本专利技术涉及一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划系统。

技术介绍

1、在半导体制造过程中，高架穿梭车承担着晶圆载具在洁净室各设备间的精准运输任务。然而，现有路径规划方法存在以下问题：

2、动态适应性不足：仅基于静态地图进行路径规划，未充分考虑实时设备状态（如光刻机的晶圆加工进度、刻蚀机的待机时间）及运输队列优先级，导致穿梭车在突发设备故障或紧急运输任务时无法快速调整路径，易造成晶圆滞留，影响产线节拍；多车协同效率低：缺乏对多台穿梭车运行轨迹的全局优化模型，相邻穿梭车在交叉路口易因避让规则单一引发“死锁”或“振荡”现象，且未结合载具重量、电池剩余电量等个性化参数进行任务分配，导致部分车辆过载运行，降低设备使用寿命；路径精度与能耗失衡：传统算法虽能保证最短路径，但未引入半导体制造特有的洁净室气流扰动系数、轨道曲率半径等约束条件，可能导致穿梭车在高速行驶时因离心力过大引发载具晃动，影响晶圆安全，同时未对加减速能耗进行建模，无法实现低碳化运行。

3、因此，急需一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划系统，其特征在于，包括环境感知终端、时空网格构建终端以及路径算法规划终端，具体包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划系统，其特征在于：所述目标数据包括：通过部署于洁净室顶部的激光雷达、RFID读写器以及生产管理系统实时采集设备坐标、洁净室气流速度、方向、任务紧急等级、载具重量M、电池剩余电量E。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划系统，其特征在于：所述立方体网格包含动态属性和静态属性；所述动态属性具体包括设备忙闲状态和气流扰动系数，其中，表示穿梭车当前行驶方...

【技术特征摘要】

1.一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划系统，其特征在于，包括环境感知终端、时空网格构建终端以及路径算法规划终端，具体包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划系统，其特征在于：所述目标数据包括：通过部署于洁净室顶部的激光雷达、rfid读写器以及生产管理系统实时采集设备坐标、洁净室气流速度、方向、任务紧急等级、载具重量m、电池剩余电量e。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划系统，其特征在于：所述立方体网格包含动态属性和静态属性；所述动态属性具体包括设备忙闲状态和气流扰动系数，其中，表示穿梭车当前行驶方向，表示洁净室最大气流速度；所述静态属性具体包括轨道曲率半径r和坡度。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划系统，其特征在于：所述任务优先级计算用于计算任务优先级指数，其中，表示当前时间，表示载具重量和分别表示载具重量和电池剩余电量的权重修正系数；所述车辆适配度评分，其中，和表示穿...

【专利技术属性】
技术研发人员：王善谦，
申请(专利权)人：上海铠铂云信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：