【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金刚石片生产，尤其涉及一种硅衬底金刚石片切割固定装置。
技术介绍
1、目前在生产金刚石薄片时，在通过在硅衬底片的一侧沉积碳，从而形成硅片金刚石片，通过这种硅片金刚石片获取金刚石薄片时，是通过抛光的方式将硅衬底片磨掉，从而得到金刚石薄片。在采用上述工艺时，仅在硅衬底片的一侧沉积碳，硅衬底片的利用率较低，我公司通过改变生产工艺，将硅衬底片的两侧均进行碳沉积，为了将硅衬底片两侧的金刚石薄片进行分离，因此设计了一种硅衬底金刚石片切割固定装置。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种硅衬底金刚石片切割固定装置，通过两侧定位座上的吸附盘将硅片金刚石片夹持并吸附，便于通过切割设备对硅片金刚石片中的硅衬底片进行切割，分离后的金刚石薄片被吸附在吸附盘上，便于下一工序对金刚石薄片进行收集。通过本装置，从而便于将硅衬底片两侧的金刚石薄片进行分离。
2、为实现上述目的，本技术提供了一种硅衬底金刚石片切割固定装置，包括两个定位座，两个定位座相对安装；所述定位座包括固定座、推杆装置以及吸附盘...
【技术保护点】
1.一种硅衬底金刚石片切割固定装置，其特征在于：包括两个定位座（20），两个定位座（20）相对安装；所述定位座（20）包括固定座（21）、推杆装置（22）以及吸附盘（23），推杆装置（22）安装在固定座（21）上，推杆装置（22）的活塞杆（221）两端均伸出缸体，活塞杆（221）位于固定座（21）的一端在穿过固定座（21）后安装有所述吸附盘（23）；所述活塞杆（221）为管状结构，活塞杆（221）一端与吸附盘（23）连通；使用状态下，活塞杆（221）的另一端通过柔性管道（30）与负压设备连通。
2.根据权利要求1所述的一种硅衬底金刚石片切割固定装置，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种硅衬底金刚石片切割固定装置，其特征在于：包括两个定位座（20），两个定位座（20）相对安装；所述定位座（20）包括固定座（21）、推杆装置（22）以及吸附盘（23），推杆装置（22）安装在固定座（21）上，推杆装置（22）的活塞杆（221）两端均伸出缸体，活塞杆（221）位于固定座（21）的一端在穿过固定座（21）后安装有所述吸附盘（23）；所述活塞杆（221）为管状结构，活塞杆（221）一端与吸附盘（23）连通；使用状态下，活塞杆（221）的另一端通过柔性管道（30）与负压设备连通。
2.根据权利要求1所述的一种硅衬底金刚石片切割固定装置，其特征在于：所述吸附盘（23）包括盒体（231），盒体（231）的一端设置有吸附孔（232），另一侧设置有连接套（2...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔霞，吕继磊，孔方，肖杰，武迪，李帅，张天燕，
申请(专利权)人：湖北碳六科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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