一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法技术

本发明专利技术公开了一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法，属于光电探测技术领域，通过以羧基化四氧化三铁纳米颗粒为核，原位生长铁金属骨架壳层，置于PECVD中处理，碳化的核壳导电纳米球，能够通过壳层光滑的碳层，核层为导电的四氧化三铁纳米颗粒，从而在薄膜受到冲击时以及加工过程中热膨胀系数不一致引发的热应力，通过壳层与核层之间的相对滑移分散应力，吸收部分热应变能，延长薄膜的使用寿命；将硅衬底层表面镀镍，以镍膜为生长位点，在表面生长出碳纳米管，能够显著增加薄膜导电性，并且能够增加硅衬底层的表面粗糙度，利于核壳导电纳米球的附着，导电性强的薄膜能在红外光照射下快速产生电子跃迁，缩短响应时间，提升动态成像精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光电探测，具体为一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法。

技术介绍

1、随着光电探测技术的进步，红外探测器已从最初的单像元探测器发展到第四代焦平面红外探测器，其中光电导型红外探测器基于光电效应，具有较高的响应速率与灵敏度，可对远距离目标进行快速、精确的红外探测，被广泛应用于导弹制导、火控瞄准、夜视增强、安防监控、森林防火等军事与民用领域。然而，也正是由于光电效应的限制，大多数光电导型红外探测器的优异性能只有在低温下才能保证，探测器在环境温度下进行工作时需为其配备额外的制冷系统，这将导致探测器的体积、重量和制造成本均被极大增加，从而限制了光子型红外探测器在民用市场的应用。红外光电探测器已广泛应用于热成像、生物医学成像、夜视、光通信、遥感成像等现代多功能技术。传统的硅光子探测器依赖于半导体中的光激发电子-空穴对，由于光子能量相对较小，背景热噪声较大，因此在红外检测中表现不佳目前，并且传统的红外探测薄膜的制备通过电子束蒸发，但是该方法在曲面或大平面上易出现边缘与中心厚度差异，不适用于在较大尺寸基板或复杂曲面上沉积红外敏感材料。p>

2、中国专本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法，其特征在于，所述四氧化三铁纳米颗粒具体制备步骤如下：

3.根据权利要求2所述的一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法，其特征在于，所述乙酰丙酮铁、二苄醚和油胺的用量比为130-140g：500-600mL：500-600mL。

4.根据权利要求1所述的一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法，其特征在于，所述羧基化四氧化三铁纳米颗粒具体制备步骤如下：

5.根据权利要求4所述的一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法，其特...

【技术特征摘要】

1.一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法，其特征在于，所述四氧化三铁纳米颗粒具体制备步骤如下：

3.根据权利要求2所述的一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法，其特征在于，所述乙酰丙酮铁、二苄醚和油胺的用量比为130-140g：500-600ml：500-600ml。

4.根据权利要求1所述的一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法，其特征在于，所述羧基化四氧化三铁纳米颗粒具体制备步骤如下：

5.根据权利要求4所述的一种适合大面积制备红外探测薄膜的方法，其特征在于，所述四氧化三铁纳米颗粒、1,2-二氯苯、n,n-二甲基酰胺和柠檬酸的用量比为100-110g：80-90ml：800-900ml：80-90g。

6.根据权利要求1所述的一种适合大面积制备红外探测薄膜的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：王树棋，邹永纯，陈璐，
申请(专利权)人：四川羲和瞳芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：