【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光刻胶废水处理,更具体地说,涉及一种光刻胶材料中间体废水处理装置。
技术介绍
1、光刻胶又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料,由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体,在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。
2、现有的光刻胶材料中间体废水处理装置,在使用过程中,废水处理流程中的过滤装置容易被废水中的光刻胶堵塞,且废水中的光刻胶回收效率较低,降低了废水处理装置的实用性,为此,本方案提出了一种光刻胶材料中间体废水处理装置。
技术实现思路
1、1.要解决的技术问题:
2、针对现有技术中存在的问题,本技术的目的在于提供一种光刻胶材料中间体废水处理装置,通过在处理箱体的内部增设了能够对光刻胶分类回收的集胶组件和防止堵塞的渗漏组件,促使光刻胶在过滤期间,其废水能够透过集胶组件向下渗漏,而光刻胶材料则被滞留在集胶组件表面,并进行分类的收集作业,以便后续的分类处理,减少人员的工作量,废
...【技术保护点】
1.一种光刻胶材料中间体废水处理装置,包括处理箱体(1),其特征在于:所述处理箱体(1)的左侧上端嵌设安装有进液管(2),所述处理箱体(1)的右侧下端嵌设安装有出液管(3),所述处理箱体(1)的四个中心侧端均嵌设安装有玻璃窗(4),所述处理箱体(1)的内壁之间安装有防堵塞的渗漏组件(5),所述处理箱体(1)的前侧端开设有滑槽一(11),所述滑槽一(11)的内壁之间插设有对光刻胶分类回收的集胶组件(6),所述集胶组件(6)位于渗漏组件(5)的下侧。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶材料中间体废水处理装置,其特征在于:所述渗漏组件(5)包括处理箱体(1)四个
...【技术特征摘要】
1.一种光刻胶材料中间体废水处理装置,包括处理箱体(1),其特征在于:所述处理箱体(1)的左侧上端嵌设安装有进液管(2),所述处理箱体(1)的右侧下端嵌设安装有出液管(3),所述处理箱体(1)的四个中心侧端均嵌设安装有玻璃窗(4),所述处理箱体(1)的内壁之间安装有防堵塞的渗漏组件(5),所述处理箱体(1)的前侧端开设有滑槽一(11),所述滑槽一(11)的内壁之间插设有对光刻胶分类回收的集胶组件(6),所述集胶组件(6)位于渗漏组件(5)的下侧。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶材料中间体废水处理装置,其特征在于:所述渗漏组件(5)包括处理箱体(1)四个内壁上固定连接的支架(51),四个所述支架(51)的中心端固定连接有滤筒(52),所述滤筒(52)的顶端固定连接有防护盖(53)。
3.根据权利要求2所述的一种光刻胶材料中间体废水处理装置,其特征在于:所述滤筒(52)为漏斗状设置,且底部为...
【专利技术属性】
技术研发人员:尹跳,程兆硕,李华军,
申请(专利权)人:安庆合诚新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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