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基于线阵探测器的高分辨率扫描式光谱仪及使用方法技术

技术编号:46494612 阅读:5 留言:0更新日期:2025-09-26 19:12
本发明专利技术公开了一种基于线阵探测器的高分辨率扫描式光谱仪及使用方法,属于光谱仪器及光谱分析技术领域,包括光源用于发射光束;第一非球面镜用于缩小光源发出的光束直径,第二非球面镜用于将通过狭缝的有效波段光线准直为平行光束;平面刻线光栅用于使光束发生衍射;反射系统用于对光束进行反射使其重新进入平面刻线光栅进行二次衍射;第一球面镜用于对通过第一非球面镜的光束进行准直,第二球面镜用于使第一次衍射后的光束会聚于狭缝处,第三球面镜用于使第二次衍射后的光束会聚进入线阵光电探测器中。本发明专利技术结合分光式和扫描式光谱仪的优势,采用反射式光路结构,避免了透射式光路引入的额外像差,提高数据采集效率,保证高质量成像。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光谱仪器及光谱分析,特别是涉及一种基于线阵探测器的高分辨率扫描式光谱仪及使用方法


技术介绍

1、本部分的陈述仅仅是提供了与本专利技术相关的
技术介绍
信息,不必然构成在先技术。

2、光谱仪已经被广泛应用到了各个领域之中,如化学成分分析、材料性质分析、分子结构研究等等,而随着技术的不断发展,人们对光谱解调仪的分辨率要求越来越高,且随着便携式光谱仪逐渐成为主流,因此,使用较少的光学元件来实现较高的光谱分辨率成为了人们迫切的需要。

3、目前,在特定材料的成分分析或信号解调分析中,通常需要高分辨率的光谱仪进行测量。不同类型的光谱仪具备各自的优缺点,但现有系统普遍面临一些技术限制。例如,分光式光谱仪虽然具有较好的便携性,但其波长范围与分辨率通常呈反比,难以满足近红外波段下对于任意波长的精确要求;级联式光谱仪由于复杂的光路设计,器件数量较多,导致成本大幅增加,且装配和定位难度较大;扫描式光谱仪虽具有较高的分辨率,但通常依赖光电二极管作为探测器件,因此需要反复扫描,操作流程繁琐且效率较低。


<b>技术实现思路...

【技术保护点】

1.基于线阵探测器的高分辨率扫描式光谱仪,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的基于线阵探测器的高分辨率扫描式光谱仪,其特征在于,所述狭缝位于第二球面镜和第二非球面镜之间,用于阻挡非有效波长的光束。

3.如权利要求1所述的基于线阵探测器的高分辨率扫描式光谱仪,其特征在于,所述平面刻线光栅接收通过第一球面镜的平行光束,发生第一次衍射,并接收反射系统反射的光束发生第二次衍射。

4.如权利要求3所述的基于线阵探测器的高分辨率扫描式光谱仪,其特征在于,第二次衍射后的光束经过第三球面镜会聚进入线阵光电探测器中。

5.如权利要求1所述的基于线阵探测...

【技术特征摘要】

1.基于线阵探测器的高分辨率扫描式光谱仪,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的基于线阵探测器的高分辨率扫描式光谱仪,其特征在于,所述狭缝位于第二球面镜和第二非球面镜之间,用于阻挡非有效波长的光束。

3.如权利要求1所述的基于线阵探测器的高分辨率扫描式光谱仪,其特征在于,所述平面刻线光栅接收通过第一球面镜的平行光束,发生第一次衍射,并接收反射系统反射的光束发生第二次衍射。

4.如权利要求3所述的基于线阵探测器的高分辨率扫描式光谱仪,其特征在于,第二次衍射后的光束经过第三球面镜会聚进入线阵光电探测器中。

5.如权利要求1所述的基于线阵探测器的高分辨率扫描式光谱仪,其特征在于,所述反射系统,包括多个反射镜,多个反射镜放置在光谱仪系统的不同位置,对通过第二非球面镜的光束进行反射,使其重新进...

【专利技术属性】
技术研发人员:张雷赵英然左佳旖姜明顺张法业隋青美
申请(专利权)人:山东大学
类型:发明
国别省市:

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