【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于精密技术设备，涉及一种超精密气浮运动载台。
技术介绍
1、气动载台是一种利用气压传动原理来实现物体承载，移动或定位的设备，在高端光刻机领域，如euv光刻机，必须使用气浮运动载台，这是实现纳米级精度和高速运动的核心技术之一。其工作原理是利用线性电机来驱动气浮运动载台，其驱动方式为：气浮运动载台通过压缩空气在载台与基座间形成微米级气膜，消除机械摩擦，线性电机中的定子（线圈阵列）固定于基座，动子（永磁体组）安装在气浮运动载台上，通电后产生电磁推力，推动气浮运动载台实现纳米级的运动精度。
2、气动载台目前还存在控制精度有限，气源压力稳定性欠佳等技术问题。在控制精度方面，气动载台有时会产生难以修正的非线性控制误差，在一些对位置控制精度要求极高的场合，无法满足精密度要求。而气足供气压力的稳定性直接关系到气膜的性能和整体运动精度，气足供气压力过大或过小均会导致一系列问题，影响气动载台导轨的承载能力、刚度、稳定性甚至寿命。
3、因此，采取有效措施优化载台机械结构，降低机械摩擦，配备高精度气源处理系统，进一步提高气动...
【技术保护点】
1.一种超精密气浮运动载台，其特征在于：包括花岗石基座，在所述花岗石基座上沿X方向间隔设置有两个Y向直线电机，所述Y向直线电机包括固定在花岗石基座上的Y向直线电机定子以及与Y向直线电机定子相配合的Y向直线电机动子；两个Y向直线电机动子分别固定连接有第一滑座，在两个所述第一滑座之间设置有X向组合梁，在X向组合梁上沿Y方向间隔设置有两个X向直线电机；所述X向直线电机包括相互配合的X向直线电机定子和X向直线电机动子，两个X向直线电机定子固定在X向组合梁上，两个X向直线电机动子分别固定连接有第二滑座，两个所述第二滑座之间固定连接有第一安装板和第二安装板，在第一安装板和第二安装...
【技术特征摘要】
1.一种超精密气浮运动载台，其特征在于：包括花岗石基座，在所述花岗石基座上沿x方向间隔设置有两个y向直线电机，所述y向直线电机包括固定在花岗石基座上的y向直线电机定子以及与y向直线电机定子相配合的y向直线电机动子；两个y向直线电机动子分别固定连接有第一滑座，在两个所述第一滑座之间设置有x向组合梁，在x向组合梁上沿y方向间隔设置有两个x向直线电机；所述x向直线电机包括相互配合的x向直线电机定子和x向直线电机动子，两个x向直线电机定子固定在x向组合梁上，两个x向直线电机动子分别固定连接有第二滑座，两个所述第二滑座之间固定连接有第一安装板和第二安装板，在第一安装板和第二安装板上固定连接有气浮移动载台；
2.根据权利要求1所述的超精密气浮运动载台，其特征在于：在气浮移动载台位置调整第一阶段，所述气浮底板在两个y向直线电机和两个x向直线电机驱动下带动轨道基座，并通过轨道基座带动与载物滑块固定在一起的载物板在花岗石基座上移动，实现载物板移动粗调节；在气浮移动载台位置调整第二阶段，所述载物滑块与气浮导轨之间形成气浮副，载物滑块由滚珠丝杠直线驱动机构推动在气浮导轨上移动，实现载物板移动精调节。
3.根据权利要求1所述的超精密气浮运动载台，其特征在于：在两个所述第一滑座下方设置有y向导轨组件，所述y向导轨组件包括沿y方向铺设在花岗石基座上的y向导轨以及与所述y向导轨滑动配合的y向滑块；在两个所述第二滑座的下方设置有x向导轨组件，所述x向导轨组件包括沿x方向铺设在花岗石基座上的x向导轨以及与所述x向导轨滑动配合的x向滑块；所述y向导轨组件以及x向导轨组件均采用气浮导轨形式。
4.根据权利要求1所述的超精密气浮运动载台，其特征在于：所述空压机连接有储气罐，所述储气罐通过管道连接有第一分配阀，所述第一分配阀的各出口依次通过正压支路管道连接气浮底板上的正压专用组合接头；第一调节阀组件的进气端连通储气罐，出气端通过三通阀连通正压支路管道，第一调节阀组件的电控端电路连接控制器；在第一分配阀与正压专用组合接头之间的正压支路管道内安装有第二气压传感器，第二气压传感器电连接控制器；所述储气罐上安装有第三气压传感器，第三气压传感器电连接控制器；控制器根据储气罐内的第三气压传感器气压信号控制空压机的运行，根据与气浮孔连通的正压气道内的第一气压传感器信号以及正压支路管道内的第二气压传感器信号控制第一调节阀组件，并通过第一调节阀组件控制进入每个正压气道的供气量，从而调节每个所述气浮孔的供气压力。
5.根据权利要求4所述的超精密气浮运动载台，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：周正东，周卫，
申请(专利权)人：济南东星精密量仪有限公司，
类型：发明
国别省市：
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