【技术实现步骤摘要】
本技术涉及压力传感器信号处理领域，特别涉及一种可提高信噪比的谐振式压力传感器开环测试电路。
技术介绍
1、谐振式压力传感器开环测试电路是一种应用在谐振式压力传感器上的信号处理电路，谐振式压力传感器具有精度高、抗噪声能力强、高稳定性的特点。谐振式压力传感器其传感结构复杂，工艺要求高，且工作时需要与接口电路配合构成闭环电路才可实现压力测量。为了确定传感器的谐振频率以及品质因数，一般需要先对传感器进行开环测试。
2、在此类传感器中，采用静电激励、电容检测模式的谐振式压力传感器具有工艺简单、体积小的优势。但其谐振时，电容极板振动幅度较小，灵敏度较低。另外，由于驱动信号含有交流分量，且极板间存在较大的寄生电容，导致驱动信号的交流分量通过寄生电容耦合到检测端，该信号远大于谐振信号，且频率相等，从而产生同频干扰。在开环测试中，同频干扰是降低输出信号信噪比的主要来源。
3、对于同频干扰，通常通过相应的接口电路进行消除，例如通过在可动极板施加载波信号，配合相关解调电路以及低通、高通滤波器，将谐振信号与干扰信号分离，但其电路较为复杂...
【技术保护点】
1.一种可提高信噪比的谐振式压力传感器开环测试电路，包括可动极板(4)，其特征在于：所述可动极板(4)的上端位置连接有第一驱动极板(1)、第一检测极板(2)与第二检测极板(3)，所述第一检测极板(2)与第二检测极板(3)之间连接第一驱动极板(1)，所述可动极板(4)的下端位置连接有第二驱动极板(7)、第三检测极板(5)与第四检测极板(6)，所述第三检测极板(5)与第四检测极板(6)之间连接第二驱动极板(7)。
2.根据权利要求1所述的一种可提高信噪比的谐振式压力传感器开环测试电路，其特征在于：所述第一检测极板(2)与可动极板(4)之间连接有电容C1，所述第...
【技术特征摘要】
1.一种可提高信噪比的谐振式压力传感器开环测试电路，包括可动极板(4)，其特征在于：所述可动极板(4)的上端位置连接有第一驱动极板(1)、第一检测极板(2)与第二检测极板(3)，所述第一检测极板(2)与第二检测极板(3)之间连接第一驱动极板(1)，所述可动极板(4)的下端位置连接有第二驱动极板(7)、第三检测极板(5)与第四检测极板(6)，所述第三检测极板(5)与第四检测极板(6)之间连接第二驱动极板(7)。
2.根据权利要求1所述的一种可提高信噪比的谐振式压力传感器开环测试电路，其特征在于：所述第一检测极板(2)与可动极板(4)之间连接有电容c1，所述第二检测极板(3)与可动极板(4)之间连接有电容c3，所述第一驱动极板(1)与可动极板(4)之间连接有电容c2，所述第一驱动极板(1)与第一检测极板(2)之间连接有寄生电容cp1，所述第一驱动极板(1)与第二检测极板(3)之间连接有寄生电容cp2。
3.根据权利要求1所述的一种可提高信噪比的谐振式压力传感器开环测试电路，其特征在于：所述第三检测极板(5)与可动...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨焘，
申请(专利权)人：苏州司南传感科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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