用于传感应用的表面声波器件的机械封装制造技术

一种方法和装置，其中芯片使用刚性接合粘合剂贴装到支承基底结构用于ＳＡＷ（表面声波）传感器。具有优选地高的玻璃转变温度（Ｔｇ）的刚性接合粘合剂可以采用一种图案直接施加在芯片和芯片支承结构之间，以消除对ＳＡＷ传感器的时间依赖的渐变应力影响。刚性接合粘合剂然后可以固化，其产生高屈服强度和高杨氏模量。支承基底和芯片材料包括相同的热膨胀系数以避免随温度的芯片位移。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
实施例大体上涉及声波器件。实施例还涉及SAW (表面声波)和BAW (体声波)传 感器件。实施例另外涉及用于表面声波传感器器件的机械封装技术和配置。
技术介绍
例如基于SAW和/或BAW的传感器等的声波传感器可以在多种传感应用中使用， 例如温度和/或压力传感。这样的表面波传感器还可以用于探测物质的存在，例如化学物 的存在等。表面声波器件典型地使用光线光刻技术通过放置在压电材料上的梳状叉指式换 能器制造。表面声波器件可具有延迟线或共振器配置。其中已经有效使用SAW传感器的一 个应用涉及车胎的压力和/或温度传感。 这样的传感器通常与车辆通信使得当该车辆移动(即，车轮相对于车身转动)时 可以向操作者显示传感的压力。这样的器件通常是相对复杂和昂贵的、或备选地不是特别 耐用的。在汽车中使用的传感系统的一个类型是TPMS (轮胎压力监测系统)，其包含固定到 车身的传感器并且因此转动车轮和底盘之间的转动电接触是不需要的。在TPMS应用中，当 轮胎的侧壁变形时传感器杆由于与轮胎侧壁接触而挠曲。这个系统提供低轮胎压力的指示 但也不是非常耐用的。例如在车轮上的泥或其他碎片可引起错误的读数。此外，仅当轮本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于提供表面声波传感器的方法，包括：在支承基底／结构上设置至少一个表面声波芯片，所述支承基底／结构其中形成有多个芯片支承突出部，所述至少一个表面声波芯片在所述多个芯片支承突出部上面；在所述至少一个表面声波芯片和所述至少一个芯片支承突出部或结构之间采用一种图案直接施加刚性接合粘合剂以消除时间依赖的渐变应力影响；以及之后固化所述刚性接合粘合剂，从而贴装所述至少一个表面声波芯片到所述支承基底以形成所述表面声波传感器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：S库马，G奥布赖恩，M卡西米，RC索伦森，BJ马什，VV阿拉梅斯库，JD库克，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]