具有双Z轴扫描机构的超声波扫描设备制造技术

技术编号:46485211 阅读:8 留言:0更新日期:2025-09-26 19:06
本申请涉及一种具有双Z轴扫描机构的超声波扫描设备,其包括:机柜,其限定扫描腔室,所述扫描腔室用于容纳被扫描物;C‑SCAN扫描探头,其用于对所述被扫描物进行C‑SCAN扫描;T‑SCAN扫描探头,其用于对所述被扫描物进行T‑SCAN扫描;第一动力件,其经由第一传动组件连接到所述C‑SCAN扫描探头,以驱动所述C‑SCAN扫描探头沿重力方向升降移动;第二动力件,其经由第二传动组件连接到所述T‑SCAN扫描探头,以驱动所述T‑SCAN扫描探头沿重力方向升降移动,其中,所述第二传动组件与所述第一传动组件为不同的传动组件。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及扫描设备,尤其涉及一种具有双z轴扫描机构的超声波扫描设备。


技术介绍

1、超声波扫描设备的应用比较广泛,可用来检测半导体器件、电路板、陶瓷、树脂、汽车零部件、金属制品、晶圆等各行业产品内部的裂纹、分层、孔洞、异物等缺陷,且不会对检测产品造成破坏,检测精度高,操作方便。

2、在现有技术中,对于同时配置有c-scan扫描探头和t-scan扫描探头的超声波扫描设备,通常以手动方式来调节控制t-scan扫描探头的移动。然而,随着c-scan扫描的广泛应用,手动调节存在的调整时间长、对焦困难等影响生产效率和扫描质量的弊端越来突显。


技术实现思路

1、有鉴于此,本申请提出一种具有双z轴扫描机构的超声波扫描设备。

2、本申请提出的具有双z轴扫描机构的超声波扫描设备,包括:

3、机柜,其限定扫描腔室,所述扫描腔室用于容纳被扫描物;

4、c-scan扫描探头,其用于对所述被扫描物进行c-scan扫描;

5、t-scan扫描探头,其用于对所述被扫描物进行t-s本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有双Z轴扫描机构的超声波扫描设备,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一传动组件包括:

3.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一传动组件包括:

4.根据权利要求2或3所述的设备,其特征在于,所述第一升降座为绝缘材质。

5.根据权利要求2或3所述的设备,其特征在于,所述第二传动组件包括:

6.根据权利要求2或3所述的设备,其特征在于,所述第二传动组件包括:

7.根据权利要求5或6所述的设备,其特征在于,所述第二丝杆与所述第一丝杆在水平方向上隔开设置

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【技术特征摘要】

1.一种具有双z轴扫描机构的超声波扫描设备,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一传动组件包括:

3.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一传动组件包括:

4.根据权利要求2或3所述的设备,其特征在于,所述第一升降座为绝缘材质。

5.根据权利要求2或3所述的设备,其特征在于,所述第二传动组件包括:

6.根据权利要求2或3所述的设备,其特征在于,所述第二传动组件包括:

【专利技术属性】
技术研发人员:段永华
申请(专利权)人:海九智能科技苏州有限公司
类型:新型
国别省市:

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