【技术实现步骤摘要】
本申请涉及扫描设备,尤其涉及一种具有双z轴扫描机构的超声波扫描设备。
技术介绍
1、超声波扫描设备的应用比较广泛,可用来检测半导体器件、电路板、陶瓷、树脂、汽车零部件、金属制品、晶圆等各行业产品内部的裂纹、分层、孔洞、异物等缺陷,且不会对检测产品造成破坏,检测精度高,操作方便。
2、在现有技术中,对于同时配置有c-scan扫描探头和t-scan扫描探头的超声波扫描设备,通常以手动方式来调节控制t-scan扫描探头的移动。然而,随着c-scan扫描的广泛应用,手动调节存在的调整时间长、对焦困难等影响生产效率和扫描质量的弊端越来突显。
技术实现思路
1、有鉴于此,本申请提出一种具有双z轴扫描机构的超声波扫描设备。
2、本申请提出的具有双z轴扫描机构的超声波扫描设备,包括:
3、机柜,其限定扫描腔室,所述扫描腔室用于容纳被扫描物;
4、c-scan扫描探头,其用于对所述被扫描物进行c-scan扫描;
5、t-scan扫描探头,其用于对所
...【技术保护点】
1.一种具有双Z轴扫描机构的超声波扫描设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一传动组件包括:
3.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一传动组件包括:
4.根据权利要求2或3所述的设备,其特征在于,所述第一升降座为绝缘材质。
5.根据权利要求2或3所述的设备,其特征在于,所述第二传动组件包括:
6.根据权利要求2或3所述的设备,其特征在于,所述第二传动组件包括:
7.根据权利要求5或6所述的设备,其特征在于,所述第二丝杆与所述第一丝杆在水平方向上隔开设置
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【技术特征摘要】
1.一种具有双z轴扫描机构的超声波扫描设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一传动组件包括:
3.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一传动组件包括:
4.根据权利要求2或3所述的设备,其特征在于,所述第一升降座为绝缘材质。
5.根据权利要求2或3所述的设备,其特征在于,所述第二传动组件包括:
6.根据权利要求2或3所述的设备,其特征在于,所述第二传动组件包括:
【专利技术属性】
技术研发人员:段永华,
申请(专利权)人:海九智能科技苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:
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