一种熔石英双非球面棒镜制造方法技术

本发明专利技术公开了一种熔石英双非球面棒镜制造方法，包括步骤：S1、对熔石英双非球面棒镜进行激光辅助超精密车削；S2、检测熔石英双非球面棒镜的面型精度和表面粗糙度，如果检测结果达到加工要求，执行步骤S3，否则执行步骤S1；S3、对熔石英双非球面棒镜进行保形抛光；S4、检测熔石英双非球面棒镜的面型精度和表面粗糙度，如果检测结果达到加工要求，执行步骤S5，否则执行步骤S3；S5、对熔石英双非球面棒镜进行光学检验。本发明专利技术增加刀具寿命的同时提高了加工后面型精度，降低了加工后表面粗糙度，增加了车削效率，并在超精密车削加工后引入保形抛光工序，实现加工棒镜粗糙度的快速提升。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学元件超精密加工方法，尤其涉及一种熔石英双非球面棒镜制造方法。

技术介绍

1、目前，熔石英材料是高能激光系统中光学元件的主要材料，其具有硬度高、耐用性强和抗高功率激光损伤能力强等特点。一般光纤激光输出器产生的光强分布为高峰值功率的高斯分布，其内部光学元件容易因高峰值功率激光辐照而受损，熔石英双非球面棒镜可以实现光束整形的同时，具有结构简单、抗激光损伤能力强和易于集成等优点，在光纤激光系统中有着广阔应用前景。

2、然而熔石英作为典型硬脆难加工材料，传统针对熔石英光学元件的磨抛成型加工方式加工效率低、对材料的亚表面损伤较大、面型精度难以保证。超精密磨削技术对于小口径光学元件的加工较为困难，尤其在小口径非球面加工时存在磨头干涉的问题，同时加工后表面粗糙度较大；而使用超精密车削加工时刀具磨损较大，存在刀具划痕等问题。

3、因此，如何实现熔石英双非球面棒镜的高精度制造是目前难点问题。

技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种有利于增加刀具寿命，提本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：步骤S1包括S1.1粗车加工：

3.根据权利要求2所述的熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：步骤S1还包括S1.2半精车加工：

4.根据权利要求3所述的熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：步骤S1还包括S1.3精车加工：

5.根据权利要求4所述的熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：

6.根据权利要求2至5中任一项所述的熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：所述刀具为单点金刚石刀具。

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【技术特征摘要】

1.一种熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：步骤s1包括s1.1粗车加工：

3.根据权利要求2所述的熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：步骤s1还包括s1.2半精车加工：

4.根据权利要求3所述的熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：步骤s1还包括s1.3精车加工：

5.根据权利要求4所述的熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：

6.根据权利要求2至5中任一项所述的熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：所述刀具为单点金刚石刀具。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的熔石英双非球面棒镜制造方法，其特征在于：步...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧洋，熊玉朋，陈甘宇，黄铖，周家福，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：