应用于大气红外窗口波段的高硬增透膜窗口加工方法技术

本发明专利技术属于光电探测和传感技术以及红外成像技术领域，涉及应用于大气红外窗口波段的高硬增透膜窗口加工方法，包括如下步骤：选定硒化锌红外晶体作为窗口材料、选定硒化锌、氟化镱、氧化锆和类金刚石作为光学薄膜材料、设计膜系结构、采用真空镀膜方式分别完成第一面膜系结构和第二面膜系结构的镀制、成品检测。与现有技术相比，本发明专利技术提升了红外晶体窗口的表面硬度、耐腐蚀性、抗附着性及红外波段透过率，具有优良的红外光谱透射性能及环境适应性能，延长了红外晶体窗口的使用寿命，有利于保障红外探测系统长期稳定运行，为红外探测及红外成像装备的迭代升级提供了坚实基础。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光电探测和传感技术以及红外成像，具体地，涉及应用于大气红外窗口波段的高硬增透膜窗口加工方法。

技术介绍

1、红外辐射是电磁辐射谱中的重要部分，波长范围在0.76μm～1mm之间，位于可见光和微波之间。根据波长范围，红外辐射可分为近红外（nir）、短波红外（swin）、中波红外（mwir）、长波红外（lwir）、甚长波红外（vlwir）和远红外（fir）。

2、尽管红外光谱信息丰富，但由于大气中的气体（如h2o、co、co2、o3、ch4等）和小悬浮颗粒的吸收、散射、反射作用，只有部分红外光能够通过大气层被人类利用，这部分波段被称为大气红外窗口。大气红外窗口主要分为三个：短波红外大气窗口、中波红外大气窗口、长波红外大气窗口。1μm～3μm波段被称为短波红外大气窗口，用于地质环境勘测、海洋环境监控以及水分含量较大的植物和农作物监测等。3μm～5μm波段被称为中波红外大气窗口，用于探测森林火灾、飞机尾喷气流、爆炸气体等高温物体的辐射。8μm～14μm波段被称为长波红外大气窗口，由于人体温度300k（27℃）的条件下，自身热辐射的峰值所在本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.应用于大气红外窗口波段的高硬增透膜窗口加工方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的应用于大气红外窗口波段的高硬增透膜窗口加工方法，其特征在于，步骤S1中，所述硒化锌红外晶体的材料光谱透明区为0.65μm～16μm。

3.根据权利要求1所述的应用于大气红外窗口波段的高硬增透膜窗口加工方法，其特征在于，所述硒化锌膜料的材料光谱透明区为0.65μm～16μm，在光谱波长λ=1.32μm处其折射率n=2.44；所述氟化镱膜料的材料光谱透明区为0.35μm～14μm，在光谱波长λ=1.32μm处其折射率n=1.5；所述氧化锆膜料的材料光谱透明区为0.3...

【技术特征摘要】

1.应用于大气红外窗口波段的高硬增透膜窗口加工方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的应用于大气红外窗口波段的高硬增透膜窗口加工方法，其特征在于，步骤s1中，所述硒化锌红外晶体的材料光谱透明区为0.65μm～16μm。

3.根据权利要求1所述的应用于大气红外窗口波段的高硬增透膜窗口加工方法，其特征在于，所述硒化锌膜料的材料光谱透明区为0.65μm～16μm，在光谱波长λ=1.32μm处其折射率n=2.44；所述氟化镱膜料的材料光谱透明区为0.35μm～14μm，在光谱波长λ=1.32μm处其折射率n=1.5；所述氧化锆膜料的材料光谱透明区为0.3μm～12μm，在光谱波长λ=1.32μm处其折射率n=2.02；所述类金刚石膜的材料透明区域从近红外到远红外，尤其在大气红外窗口波段内高透明无吸收，在光谱波长λ=2.0μm处其折射率n=2.4。

4.根据权利要求1所述的应用于大气红外窗口波段的高硬增透膜窗口加工方法，其特征在于，所述第一面膜系安装于相应的光电设备内，且光电设备内部充氮气或干燥气体处理；所述第二面膜系结构安装于大气环境中。

5.根据权利要求1所述的应用于大气红外窗口波段的高硬增透膜窗口加工方法，其特征在于，所述膜系结构中，每个膜层的实...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金豹，封涛，田军，南勇，刘明涛，崔世俊，张勇，张艺卓，王珂，张之，
申请(专利权)人：河南平原光电有限公司，
类型：发明
国别省市：