【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学检测,尤其是涉及一种光学镜片检测用高精度干涉仪。
技术介绍
1、光学镜片是一种由光学玻璃、光学晶体或透光材料制成的器件,通过对光的折射、反射或散射进行精确控制,实现光线的汇聚、发散、成像、分光及滤波功能。
2、随着光学镜片在精密仪器及高端制造领域的应用愈发广泛,对其表面精度参数的检测要求不断提高,而传统检测手段难以满足高精度的检测需求,此时便需要一种光学镜片检测用干涉仪。
3、目前市面上的光学镜片检测用干涉仪主要由光源、检测光路、分光元件及图像采集部件组成,在使用时通过光源提供相干光,并通过检测光路及分光元件对相干光进行调节,将测量光照射至光学镜片上,并通过图像采集部件采集干涉条纹图案,就能够完成光学镜片的测量工作,但是该装置在使用时,光路中的灰尘颗粒或气流扰动,会遮挡光束或改变光程,导致条纹畸变,导致检测精度下降,采用技术通过采用全封闭光路结构,防止外部灰尘进入,并能够降低气流扰动的影响,但是该装置在使用时,受到机械振动会引起光路元件位移及光程波动,导致干涉条纹抖动,现有技术通过配置隔振平台,
...【技术保护点】
1.一种光学镜片检测用高精度干涉仪,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)的顶部左侧固定连接有干涉仪机体(5),所述工作台(1)的顶部右侧固定连接有活动座(6),所述活动座(6)的顶部左侧设置有空心板(7),所述活动座(6)的顶部设置有调节机构(2),所述调节机构(2)用于方便对镜片姿态进行调节,所述空心板(7)的内侧设置有固定机构(3),所述固定机构(3)用于方便固定光学镜片,所述干涉仪机体(5)的右侧设置有拆卸机构(4),所述拆卸机构(4)用于方便对不同型号的光学镜片进行测量;
2.根据权利要求1所述的一种光学镜片检测用高精度干涉仪,其特征在于
...【技术特征摘要】
1.一种光学镜片检测用高精度干涉仪,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)的顶部左侧固定连接有干涉仪机体(5),所述工作台(1)的顶部右侧固定连接有活动座(6),所述活动座(6)的顶部左侧设置有空心板(7),所述活动座(6)的顶部设置有调节机构(2),所述调节机构(2)用于方便对镜片姿态进行调节,所述空心板(7)的内侧设置有固定机构(3),所述固定机构(3)用于方便固定光学镜片,所述干涉仪机体(5)的右侧设置有拆卸机构(4),所述拆卸机构(4)用于方便对不同型号的光学镜片进行测量;
2.根据权利要求1所述的一种光学镜片检测用高精度干涉仪,其特征在于,所述固定机构(3)包括活动环(31),所述活动环(31)转动连接在空心板(7)的内部右侧,所述活动环(31)的左侧四周均开设有曲形槽(32),所述曲形槽(32)的内侧滑动连接有插接柱(33),所述插接柱(33)的左端固定连接有活动柱(34),所述活动柱(34)的一端固定连接有夹爪(35),所述空心板(7)的内侧设置有推力组件(36),所述活动环(31)的顶部设置有拨动组件(37)。
3.根据权利要求1所述的一种光学镜片检测用高精度干涉仪,其特征在于,所述拆卸机构(4)包括空心块(41),所述空心块(41)固定连接在干涉仪机体(5)的右侧,所述空心块(41)的内侧中部设置有分光镜(42),所述分光镜(42)的外侧固定连接有套环(43),所述套环(43)的外侧开设有卡槽(44),所述空心块(41)的内部上下侧均设置有卡块(45),所述卡块(45)与卡槽(44)相卡合,所述工作台(1)的内部端均转动连接有转动板(46),所述转动板(46)的左右侧均转动连接有连接板(47),所述连接板(47)的一端与卡块(45)转动连接,所述空心块(41)的内部前后侧均设置有复位组件(48),上侧所述卡块(45)的顶部设置有拉动组件(49)。
4.根据权利要求1所述的一种光学镜片检测用高精度干涉仪,其特征在于,所述控制机构(28)包括第二螺杆(281),所述第二螺杆(281)转动连接在凹槽(27)的内侧,所述第二螺杆(281)的顶部贯穿背板(21),所述第二螺杆(28...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪德峰,黄欣晟,王根,沈宏岩,郑顺亮,
申请(专利权)人:南京嘉博光学仪器有限公司,
类型:发明
国别省市:
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