【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电铸,尤其涉及电解铜箔制备方法、电解铜箔设备、铜箔。
技术介绍
1、电铸是通过电解反应在阴极沉积的方法制备金属制品的工艺,传统电解铜箔生产工艺多采用机械搅拌配合直流电沉积,然而电解槽中一般不便于设置机械搅拌,且机械搅拌对电解液的传质效率、铜离子迁移速率提升有限,当靠近阴极附近的铜离子被还原速率高于铜离子迁移速率时,容易造成浓差极化,导致局部铜离子浓度不均,导致表面粗糙度高、形成枝晶出现毛刺、厚度不一、cu2o夹杂缺陷等问题。出现浓差极化时还需通过提高电流密度来维持反应速率,会导致电解槽槽压升高,增加电能消耗,成本增加。采用直流电沉积容易导致铜离子倾向于在晶核上生长,而不易形成晶核,导致铜箔晶粒粗大、表面粗糙度高等问题。
2、现有的改进技术逐步采用对电解液施加超声波的方案,有利于提高铜离子迁移速率,提高电解液传质效率,破除浓差极化,然而现有超声波调控技术仅仅是盲目地施加超声波,改善效果有限。还有的改进技术对阳极施加脉冲电流改善电沉积过程,但是固定的脉冲参数只能一定程度上细化晶粒,也难以改善晶粒取向不稳定的问题,对铜箔
...【技术保护点】
1.一种电解铜箔制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述电解铜箔制备方法,其特征在于:所述C参为78~93g/L;
3.根据权利要求1或2所述电解铜箔制备方法,其特征在于:所述阴极部(2)为滚筒结构,所述阳极部(3)围合所述阴极部(2)的工作面,所述阳极部(3)包括多个阳极板(4),各所述阳极板(4)依次排列设置且相互并联;
4.根据权利要求3所述电解铜箔制备方法,其特征在于:当所述C实<C参时,
5.根据权利要求3所述电解铜箔制备方法,其特征在于:所述第一块阳极板(41)通的所述脉冲电流为单向脉冲电
<...【技术特征摘要】
1.一种电解铜箔制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述电解铜箔制备方法,其特征在于:所述c参为78~93g/l;
3.根据权利要求1或2所述电解铜箔制备方法,其特征在于:所述阴极部(2)为滚筒结构,所述阳极部(3)围合所述阴极部(2)的工作面,所述阳极部(3)包括多个阳极板(4),各所述阳极板(4)依次排列设置且相互并联;
4.根据权利要求3所述电解铜箔制备方法,其特征在于:当所述c实<c参时,
5.根据权利要求3所述电解铜箔制备方法,其特征在于:所述第一块阳极板(41)通的所述脉冲电流为单向脉冲电流;其中,
6.根据权利要求3所述电解铜箔制备方法,其特征在于:所述第二块阳极板(42)通的所述脉冲电流为第...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘晖云,王维河,罗兴元,邓星,赵倩,王海振,周援发,郭宇琼,尹卫华,
申请(专利权)人:深圳惠科新材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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