【技术实现步骤摘要】
本技术涉及设备，具体涉及一种光学设备。
技术介绍
1、晶圆边缘检测设备中，不同的缺陷需要具有不同照明角度的光进行检测，为了减少漏检在对晶圆边缘检测时需要从各种方向对晶圆边缘进行照明，并实现明场和暗场的照面。
2、现有技术往往利用“c”型光源或穹顶光源对晶圆边缘进行照明，“c”型光源的发光面呈圆柱面，然而“c”型型光源或穹顶光源可以对晶圆边缘进行多角度的同时照明，对于相机来说这种照明也仅能提供一种照明方式，且很难实现纯明场或纯暗场照明。
技术实现思路
1、本申请的技术方案在于提供一种光学设备，在多种照明模式下工作。
2、本技术提供一种光学设备，包括：收集装置，用于收集来自待测物的待测区的光；设置在所述收集装置周围的多个第一光源组，多个所述第一光源组发射光束的主光轴方向不同；不同的所述第一光源组的开关状态独立控制和/或发光强度独立控制；多个所述第一光源组包括针对所述收集装置的明场光源和暗场光源。
3、可选的，所述光学设备还包括：固定件，所述固定件用于包围所述...
【技术保护点】
1.一种光学设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述光学设备还包括：固定件，所述固定件用于包围所述待测物的边缘区；
3.根据权利要求2所述的光学设备，其特征在于，所述固定件为透明漫反射板；或者，所述固定件为不透明的板。
4.根据权利要求2所述的光学设备，其特征在于，所述固定件的发光面呈圆弧面，或者，所述固定件的发光面呈圆柱面。
5.根据权利要求2所述的光学设备，其特征在于，所述固定件中具有通光口，所述收集装置通过所述通光口收集待测区返回的信号。
6.根据权利要求1所述的光学...
【技术特征摘要】
1.一种光学设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述光学设备还包括：固定件，所述固定件用于包围所述待测物的边缘区；
3.根据权利要求2所述的光学设备，其特征在于，所述固定件为透明漫反射板；或者，所述固定件为不透明的板。
4.根据权利要求2所述的光学设备，其特征在于，所述固定件的发光面呈圆弧面，或者，所述固定件的发光面呈圆柱面。
5.根据权利要求2所述的光学设备，其特征在于，所述固定件中具有通光口，所述收集装置通过所述通光口收集待测区返回的信号。
6.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述第一光源组包括一个第一光源或多个第一光源；所述第一光源为光纤光源或led灯珠。
7.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述收集装置的光轴与待测区表面法线不平行。
8.根据权利要求7所述的光学设备，其特征在于，所述待测物的多个待测区包括主侧面、第一倾斜面和第二倾斜面；所述第一倾斜面位于所述待测物的顶面和所述主侧面之间且连接所述待测物的顶面和和所述主侧面；所述第二倾斜面位于所述待测物的底面和所述主侧面之间且连接所述待测物的底面和所述主侧面；
9.根据权利要求8所述的光学设备，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：何小凤，李青格乐，王岩松，
申请(专利权)人：深圳镭赫技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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