【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电池片生产,特别是涉及扩散炉及其进气管组件。
技术介绍
1、随着光伏技术的快速发展,晶体硅太阳电池的转换效率逐年提高。目前,主流的p型双面perc电池已经遇到效率瓶颈,各个厂家也开始了针对n型高效电池的布局。在n型高效电池的制备过程中,硼扩散是非常重要的一环。
2、相关技术中,硼扩散一般通过进气管将硼源输送至炉管内,电池片放置在炉管内的石英舟上。
3、然而,由于炉管尺寸的限制,进气管的出气口至石英舟的距离无法进一步加长,导致靠近硼源出气口的1-2个石英舟出现方阻异常、边缘发黑等异常情况,大大影响了电池生产的良率。
技术实现思路
1、基于此,有必要针对硼源出气口与石英舟的距离较短,导致的电池生产的良率低的问题,提供一种扩散炉及其进气管组件。
2、一种进气管组件,所述进气管组件包括:
3、进气管,所述进气管的上开设有多个出气口;
4、匀流组件,包括止挡板和设置在所述止挡板上的分流件,所述止挡板设置在所述进气管的一端,并且封堵
...【技术保护点】
1.一种进气管组件,其特征在于,所述进气管组件包括:
2.根据权利要求1所述的进气管组件,其特征在于,所述分流件位于所述出气口沿第一方向的至少一侧,所述第一方向同时垂直于所述进气管的轴向和所述出气口的轴向。
3.根据权利要求2所述的进气管组件,其特征在于,所述分流件包括多个相互平行且间隔设置的分流板。
4.根据权利要求3所述的进气管组件,其特征在于,所述出气口开设在所述进气管的上部,所述分流板向上倾斜15°-45°。
5.根据权利要求3所述的进气管组件,其特征在于,所述分流板上开设有通孔。
6.根据权利要求3
...【技术特征摘要】
1.一种进气管组件,其特征在于,所述进气管组件包括:
2.根据权利要求1所述的进气管组件,其特征在于,所述分流件位于所述出气口沿第一方向的至少一侧,所述第一方向同时垂直于所述进气管的轴向和所述出气口的轴向。
3.根据权利要求2所述的进气管组件,其特征在于,所述分流件包括多个相互平行且间隔设置的分流板。
4.根据权利要求3所述的进气管组件,其特征在于,所述出气口开设在所述进气管的上部,所述分流板向上倾斜15°-45°。
5.根据权利要求3所述的进气管组件,其特征在于,所述分流板上开设有通孔。
6.根据权利要求3所述的进气管组件,其特征在于,所述分流板具有倾...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨睿,赵康,
申请(专利权)人:天合光能股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。