扩散炉及其进气管组件制造技术

技术编号:46455846 阅读:9 留言:0更新日期:2025-09-23 22:21
本申请涉及一种扩散炉及其进气管组件,进气管组件包括进气管和匀流组件。进气管的侧壁上开设有多个出气口;匀流组件包括止挡板和设置在止挡板上的分流件,止挡板设置在进气管的一端,并且封堵进气管上对应的端部,分流件设置在止挡板靠近进气管的一侧。向进气管中通入气源时,气源通过进气管上的多个出气口依次流动至扩散炉内,且在抽气泵的抽气作用下,气源沿着扩散炉的轴向流动,并依次经过分流件分流,当气源继续流动碰到位于进气管尾部的止挡板时,气源撞击止挡板并向四周扩散,以从止挡板的外周流向石英舟,从而能够避免靠近出气口的1‑2个舟出现方阻异常、边缘发黑的异常情况。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电池片生产,特别是涉及扩散炉及其进气管组件


技术介绍

1、随着光伏技术的快速发展,晶体硅太阳电池的转换效率逐年提高。目前,主流的p型双面perc电池已经遇到效率瓶颈,各个厂家也开始了针对n型高效电池的布局。在n型高效电池的制备过程中,硼扩散是非常重要的一环。

2、相关技术中,硼扩散一般通过进气管将硼源输送至炉管内,电池片放置在炉管内的石英舟上。

3、然而,由于炉管尺寸的限制,进气管的出气口至石英舟的距离无法进一步加长,导致靠近硼源出气口的1-2个石英舟出现方阻异常、边缘发黑等异常情况,大大影响了电池生产的良率。


技术实现思路

1、基于此,有必要针对硼源出气口与石英舟的距离较短,导致的电池生产的良率低的问题,提供一种扩散炉及其进气管组件。

2、一种进气管组件,所述进气管组件包括:

3、进气管,所述进气管的上开设有多个出气口;

4、匀流组件,包括止挡板和设置在所述止挡板上的分流件,所述止挡板设置在所述进气管的一端,并且封堵所述进气管上对应的端本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种进气管组件,其特征在于,所述进气管组件包括:

2.根据权利要求1所述的进气管组件,其特征在于,所述分流件位于所述出气口沿第一方向的至少一侧,所述第一方向同时垂直于所述进气管的轴向和所述出气口的轴向。

3.根据权利要求2所述的进气管组件,其特征在于,所述分流件包括多个相互平行且间隔设置的分流板。

4.根据权利要求3所述的进气管组件,其特征在于,所述出气口开设在所述进气管的上部,所述分流板向上倾斜15°-45°。

5.根据权利要求3所述的进气管组件,其特征在于,所述分流板上开设有通孔。

6.根据权利要求3所述的进气管组件,其...

【技术特征摘要】

1.一种进气管组件,其特征在于,所述进气管组件包括:

2.根据权利要求1所述的进气管组件,其特征在于,所述分流件位于所述出气口沿第一方向的至少一侧,所述第一方向同时垂直于所述进气管的轴向和所述出气口的轴向。

3.根据权利要求2所述的进气管组件,其特征在于,所述分流件包括多个相互平行且间隔设置的分流板。

4.根据权利要求3所述的进气管组件,其特征在于,所述出气口开设在所述进气管的上部,所述分流板向上倾斜15°-45°。

5.根据权利要求3所述的进气管组件,其特征在于,所述分流板上开设有通孔。

6.根据权利要求3所述的进气管组件,其特征在于,所述分流板具有倾...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨睿赵康
申请(专利权)人:天合光能股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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