一种微观轮廓检测终端及系统技术方案

本申请公开了一种微观轮廓检测终端及系统，涉及精密检测技术领域。该微观轮廓检测终端，包括外壳和与外壳连接的底板，外壳与底板之间形成安装腔，安装腔内设置有3D面阵相机、光学显微镜、显微相机和电源，电源通过电源线与3D面阵相机和显微相机连接；3D面阵相机的镜头朝向底板、并在底板上设置对应镜头的镜头孔，显微相机的镜头与光学显微镜的目镜连接，光学显微镜的物镜朝向底板、并在底板上设置对应物镜的通光孔。本申请结合3D面阵相机、光学显微镜和显微相机的优点，不仅能够在现场和实验室对样品进行微观检查，达到微米级的检测精度，满足高精度要求，而且还能完成样品的光学显微检测和三维尺寸检测，实现定量和定性分析。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及精密检测，具体涉及一种微观轮廓检测终端及系统。

技术介绍

1、随着工业制造和科研领域对精密检测需求的日益增长，传统的接触式检测方法由于其固有的局限性，如可能对柔性样品、液体样品、气态样品、高速移动样品或超精密光滑表面样品造成损坏，已无法满足现代精密检测的要求。因此，非接触式三维检测技术应运而生，其通过非破坏性技术捕获物体表面上点的3d空间坐标，实现样品表面轮廓的检测和表征。

2、现有的非接触式三维检测技术包括线激光位移检测技术、结构光3d成像技术、白光干涉轮廓仪技术、光纤干涉位移检测技术、激光共聚焦技术和光谱共聚焦技术等。

3、这些技术在实际检测过程中各有特点，但针对现场微观尺度的检测，尤其是对现场局部检测精度要求极高的场合，如发动机叶片的点蚀检测，现有技术难以满足高精度要求。此外，现有的手持3d扫描仪虽然能够进行现场检测，但其采集的3d点云模型缺乏真实颜色信息，只能进行定量分析，无法进行定性分析。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种微观轮廓检测系统，解决现有的检测技本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微观轮廓检测终端，其特征在于，包括外壳(11)和与所述外壳(11)连接的底板(12)，所述外壳(11)与所述底板(12)之间形成安装腔(13)，所述安装腔(13)内设置有3D面阵相机(14)、光学显微镜(15)、显微相机(16)和电源(17)，所述电源(17)通过电源线与所述3D面阵相机(14)和所述显微相机(16)连接；

2.根据权利要求1所述的微观轮廓检测终端，其特征在于，所述底板(12)上、且位于所述安装腔(13)的外部设置有照明器(18)，所述电源(17)通过电源线与所述照明器(18)连接。

3.根据权利要求1所述的微观轮廓检测终端，其特征在于，所...

【技术特征摘要】

1.一种微观轮廓检测终端，其特征在于，包括外壳(11)和与所述外壳(11)连接的底板(12)，所述外壳(11)与所述底板(12)之间形成安装腔(13)，所述安装腔(13)内设置有3d面阵相机(14)、光学显微镜(15)、显微相机(16)和电源(17)，所述电源(17)通过电源线与所述3d面阵相机(14)和所述显微相机(16)连接；

2.根据权利要求1所述的微观轮廓检测终端，其特征在于，所述底板(12)上、且位于所述安装腔(13)的外部设置有照明器(18)，所述电源(17)通过电源线与所述照明器(18)连接。

3.根据权利要求1所述的微观轮廓检测终端，其特征在于，所述3d面阵相机(14)在成像过程中与样品的位置保持恒定。

4.根据权利要求1所述的微观轮廓检测终端，其特征在于，所述显微相机(16)包括芯片移动式相机或芯片固定式相机。

5.根据权利要求1所述的微观轮廓检测终端，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙亮，
申请(专利权)人：孙亮，
类型：新型
国别省市：