一种单晶炉复投料智能配送系统及配送方法技术方案

本发明专利技术公开了一种单晶炉复投料智能配送系统及配送方法，属于单晶炉生产自动化领域。系统包括MES系统、MCS系统、AGV设备及中间缓存区，通过MES与MCS系统联动推送炉台需求时间，结合历史运输数据智能修正加料顺序，将物料先送至就近中间缓存区再配送至炉台。配送方法包括获取需求时间、计算运输耗时、修正加料顺序、分区域缓存及缓存区至炉台配送等步骤。该发明专利技术解决了现有AGV配送中距离远待料、运输拥堵及流程不联动问题，实现需求与加料实时联动，通过历史数据智能排序加料顺序，利用中间缓存区隔离拥堵风险，保障炉台上料时间可控，提高复投料配送效率与准确性，减少安全风险，适用于大规模单晶炉生产场景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及单晶硅生产自动化，具体涉及一种用于单晶炉复投料的智能配送系统及其配送方法，适用于半导体及光伏产业的大规模单晶炉生产场景。

技术介绍

1、在单晶硅材料生产领域，直拉法(cz法)单晶炉的连续复投料工艺对物流配送系统提出了高实时性要求。复投料过程需维持硅液液位与组分均匀性，而配送延迟会导致炉内温场失衡，引发硅液过温沸腾或结晶界面失稳等工艺异常。随着大规模单晶炉集群(300台以上)在半导体及光伏行业的普及，传统物流配送模式面临多炉台协同调度与长距离路径规划的双重技术挑战，现有系统在应对动态需求变化时暴露出显著的适应性不足。

2、现有技术依赖人工判断的配送模式缺乏与炉台工艺参数的实时联动，无法基于硅液消耗速率动态调整配送时机，导致加料操作与工艺需求存在天然时间偏差。

3、人工搬运无法实现物料位置的精准追踪，在多炉台复杂布局中易出现配送路径冗余，且缺乏自动避障机制，在高温、高粉尘环境下的操作可靠性难以保障。

4、基于人力的配送架构难以适应炉台数量的线性增长，当炉台规模超过临界值时，人工调度的复杂度呈指数级上升，无法满足本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉复投料智能配送系统，其特征在于，包括：

2.一种单晶炉复投料智能配送方法，其特征在于，包括：

3.根据权利要求1所述一种单晶炉复投料智能配送系统，其特征在于，所述中间缓存区按每两列炉子划分为一个区域，区域信息存储于MCS系统。

4.根据权利要求1所述一种单晶炉复投料智能配送系统，其特征在于，所述MCS系统生成任务时，根据炉台号调用炉台区域对应表，将物料配送至对应区域缓存位。

5.根据权利要求2所述一种单晶炉复投料智能配送方法，其特征在于，所述修正加料顺序时，计算(t1-t)作为倒计时，若(t1-t)为负值则触发紧急加料，调度A...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉复投料智能配送系统，其特征在于，包括：

2.一种单晶炉复投料智能配送方法，其特征在于，包括：

3.根据权利要求1所述一种单晶炉复投料智能配送系统，其特征在于，所述中间缓存区按每两列炉子划分为一个区域，区域信息存储于mcs系统。

4.根据权利要求1所述一种单晶炉复投料智能配送系统，其特征在于，所述mcs系统生成任务时，根据炉台号调用炉台区域对应表，将物料配送至对应区域缓存位。

5.根据权利要求2所述一种单晶炉复投料智能配送方法，其特征在于，所述修正加料顺序时，计算(t1-t)作为倒计时，若(t1-t)为负值则触发紧急加料，调度agv优先配送，其中t1为当前系统时间。

6.根据权利要求1所述一种单晶炉复投料智能配...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄金铭，王荣，税毅，龙昭钦，
申请(专利权)人：宜宾英发德坤科技有限公司，
类型：发明
国别省市：