【技术实现步骤摘要】
本技术涉及气道检测的，具体涉及一种机械手臂气道检测装置。
技术介绍
1、半导体芯片在各行业中的应用逐渐广泛，在半导体芯片的制作过程中，需要将半导体晶片在各个工艺环节之间进行传递，目前常用的传递方式为利用机械手臂对载有芯片的晶圆进行托举传递，现有常用的机械手臂为吸附式机械手臂，而当吸附式机械手臂的气道出现通气量不合格或者通气不均匀的情况时，在传递晶圆的过程中会出现滑片的现象，因此需要对吸附式机械手臂的气道进行检测，但由于吸附式机械手臂的尺寸规格不同，目前的检测装置无法完全满足检测需求，需要更换不同的检测装置，需投入较高的硬件成本。
技术实现思路
1、本技术的目的在于：为解决上述问题，本技术提供了一种机械手臂气道检测装置。
2、本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
3、一种机械手臂气道检测装置，包括底座；
4、所述底座上开设有滑槽，所述滑槽内设置有至少两组转接通气嘴，所述转接通气嘴用于和待测气道的接口相连接；
5、所述转接通气嘴的上方设置...
【技术保护点】
1.一种机械手臂气道检测装置，其特征在于，包括底座；
2.根据权利要求1所述的机械手臂气道检测装置，其特征在于，还包括支撑架，所述支撑架设置于所述转接通气嘴的上方，所述支撑架用于将所述转接通气嘴固定在所述底座上。
3.根据权利要求1所述的机械手臂气道检测装置，其特征在于，所述转接通气嘴的表面开设有通气孔，所述转接通气嘴的一侧连接有接气管，所述接气管与所述通气孔相连通。
4.根据权利要求3所述的机械手臂气道检测装置，其特征在于，所述转接通气嘴通过宝塔接头与所述接气管相连接。
5.根据权利要求1所述的机械手臂气道检测装置，其...
【技术特征摘要】
1.一种机械手臂气道检测装置，其特征在于，包括底座；
2.根据权利要求1所述的机械手臂气道检测装置，其特征在于，还包括支撑架，所述支撑架设置于所述转接通气嘴的上方，所述支撑架用于将所述转接通气嘴固定在所述底座上。
3.根据权利要求1所述的机械手臂气道检测装置，其特征在于，所述转接通气嘴的表面开设有通气孔，所述转接通气嘴的一侧连接有接气管，所述接气管与所述通气孔相连通。
4.根据权利要求3所述的机械手臂气道检测装置，其特征在于，所述转接通气嘴通过宝塔接头与所述接气管相连接。
5.根据权利要求1所述的机械手臂气道检测装置，其特征在于，所述底座的一侧设置有凸台，所述凸台的表面沿其长度方向...
【专利技术属性】
技术研发人员：张超，刘先兵，
申请(专利权)人：苏州珂玛材料科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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