柔性微探针精密蚀刻加工装置及加工工艺制造方法及图纸

本发明专利技术公开了柔性微探针精密蚀刻加工装置及加工工艺，涉及柔性微探针加工领域，本方案依托环形溶剂仓内部初、中、末三段独立换液区和转盘式自动取放结构。装置通过安装板与旋转座支撑转盘并配备步进电机驱动的主动—从动齿轮传动，确保转盘平稳旋转与高精度定位；卡合升降器、电磁锁定器与撬架联动完成基板架的自动提放；底部走液孔和滑料斗构建闭环液体回收通道，避免液体滞留及交叉污染。该工艺利用三段导管置换实现预蚀刻、主蚀刻及精蚀修边的梯度蚀刻流程，保证溶液浓度与流速可控，提升蚀刻深度均匀性与重复性，同时自动化取放减少人工误差。整体装置结构紧凑、动作逻辑闭环、工艺稳定可靠，显著提高了加工一致性与良品率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及柔性微探针加工领域，尤其涉及柔性微探针精密蚀刻加工装置及加工工艺。

技术介绍

1、在现有的柔性微探针蚀刻加工工艺中，通常采用单一溶液浸泡方式实现蚀刻，该方法因溶液在静态环境下易产生浓度梯度，导致蚀刻深度和速率难以均匀控制，无法满足微结构高精度加工需求。同时，人工取放基板的操作高度依赖经验判断，不仅处理效率低下，而且在多次移载过程中极易因微小位移或振动而损伤探针尖端或引起位置偏差，进而影响成品良率。

2、此外，传统工艺在更换蚀刻液时多采用整体排空再注入的新旧液体交叉混合方式，这种方式不仅增加了溶剂消耗成本，也带来了环境污染和二次处理的难题，难以实现绿色生产目标。现有设备大多缺乏分区换液与自动梯度转移功能，无法在不同蚀刻阶段分别优化溶液配方与浓度，从而制约了对蚀刻深度和形貌的精细调控水平。为解决上述瓶颈，亟需一种既能实现多段溶液置换、又能完成自动化精确取放和梯度转移的柔性微探针蚀刻加工系统，以提高加工一致性、作业效率和资源利用率。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于：为了解决传统蚀刻本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.柔性微探针精密蚀刻加工装置，包括安装柔性微探针基板的若干基板架(60)，以及用于基板架(60)放置的浸泡组件(20)，所述浸泡组件(20)内设置有支撑组件(10)和若干取放组件(40)，所述支撑组件(10)上安装有用于控制取放组件(40)的控制组件(30)，其特征在于：所述浸泡组件(20)包括溶剂仓(21)，所述溶剂仓(21)内设置有若干分隔基板架(60)的分隔仓(50)，且溶剂仓(21)的底部设置有换液组件(22)；

2.根据权利要求1所述的柔性微探针精密蚀刻加工装置，其特征在于，所述溶剂仓(21)包括用于分隔仓(50)固定的环仓(211)，且环仓(211)的一端安装有...

【技术特征摘要】

1.柔性微探针精密蚀刻加工装置，包括安装柔性微探针基板的若干基板架(60)，以及用于基板架(60)放置的浸泡组件(20)，所述浸泡组件(20)内设置有支撑组件(10)和若干取放组件(40)，所述支撑组件(10)上安装有用于控制取放组件(40)的控制组件(30)，其特征在于：所述浸泡组件(20)包括溶剂仓(21)，所述溶剂仓(21)内设置有若干分隔基板架(60)的分隔仓(50)，且溶剂仓(21)的底部设置有换液组件(22)；

2.根据权利要求1所述的柔性微探针精密蚀刻加工装置，其特征在于，所述溶剂仓(21)包括用于分隔仓(50)固定的环仓(211)，且环仓(211)的一端安装有滑料斗(212)，所述环仓(211)的底部设置有若干个用于溶液置换的走液孔(213)。

3.根据权利要求1所述的柔性微探针精密蚀刻加工装置，其特征在于，所述换液组件(22)包括位于环仓(211)底部连通形成三段独立置换溶液的初段换液仓(221)、中段换液仓(222)和末端换液仓(223)，且初段换液仓(221)、中段换液仓(222)和末端换液仓(223)底部均设置有导管(224)。

4.根据权利要求2所述的柔性微探针精密蚀刻加工装置，其特征在于，所述支撑组件(10)包括位于环仓(211)内壁固定的安装板(11)，所述安装板(11)上固定有支撑转盘(13)转动的旋转座(12)，所述转盘(13)的边沿处设置有撑环(14)。

5.根据权利要求4所述的柔性微探针精密蚀刻加工装置，其特征在于，所述驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：李学文，陈组军，谭晓婉，沈峰，
申请(专利权)人：光腾激光技术德清有限公司，
类型：发明
国别省市：