【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅烷气体中痕量氦气的检测设备。
技术介绍
1、当前，硅烷产品标准gb/t 15909-2017《电子工业用气体 硅烷》规定了组分、水分和金属含量的检测，但并未包含氦气含量检测的相关内容；而国际上部分先进的半导体企业如台积电、长江存储等对硅烷中氦气含量提出了要求。
2、气体组分痕量分析的方法有气相色谱-质谱法、气相色谱法等，气相色谱-质谱法所需设备费用高达几十万甚至上百万且后续维护和运行成本高。气相色谱法根据检测器性能的不同又分为氦离子化气相色谱法（pdd）、氢火焰离子化气相色谱法（fid）、火焰光度气相色谱法（fpd）和电导检测气相色谱法（tcd），氦离子化气相色谱法、氢火焰离子化气相色谱法和火焰光度气相色谱法均无法检测氦气含量；电导检测气相色谱法虽然能检测氦气含量，但其高达10ppmv的检出限远满足不了半导体客户对氦气含量的要求；同时，硅烷作为电子工业气体中遇空气自燃的气体，传统的气相色谱法无法达到安全检测的要求。
技术实现思路
1、本技术针对上述现有技术存在的...
【技术保护点】
1.一种硅烷气体中痕量氦气的检测设备，包括气体浓缩仪和带有TCD检测器的气相色谱仪，其特征在于：所述气体浓缩仪的样品输入端连接有并联设置的样品支路、标准气体支路以及第一载气支路，所述样品支路用于输入硅烷气体并与吹扫支路、抽真空支路相连接；所述气体浓缩仪的驱动气输入端与第一驱动气支路相连接，气体浓缩仪的尾气输出端与第一尾气排放支路相连接；所述气相色谱仪的样品输入端与气体浓缩仪的压缩气体输出端、第二载气支路相连接，气相色谱仪的驱动气输入端与第二驱动气支路相连接，气相色谱仪的尾气输出端与第二尾气排放支路相连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅烷气体中痕量氦气的检...
【技术特征摘要】
1.一种硅烷气体中痕量氦气的检测设备，包括气体浓缩仪和带有tcd检测器的气相色谱仪，其特征在于：所述气体浓缩仪的样品输入端连接有并联设置的样品支路、标准气体支路以及第一载气支路，所述样品支路用于输入硅烷气体并与吹扫支路、抽真空支路相连接；所述气体浓缩仪的驱动气输入端与第一驱动气支路相连接，气体浓缩仪的尾气输出端与第一尾气排放支路相连接；所述气相色谱仪的样品输入端与气体浓缩仪的压缩气体输出端、第二载气支路相连接，气相色谱仪的驱动气输入端与第二驱动气支路相连接，气相色谱仪的尾气输出端与第二尾气排放支路相连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅烷气体中痕量氦气的检测设备，其特征在于：所述样品支路包括用于控制硅烷气体输入的第一阀门和用于控制硅烷气体输出的第五阀门，所述第一阀门和第五阀门串联设置；所述吹扫支路连接在第一阀门和第五阀门之间，吹扫支路包括用于控制吹扫气体输出的第二阀门和用于控制吹扫气体输入的第三阀门，所述第二阀门和第三阀门并联设置，第二阀门的输出侧串联设置有第一单向阀门，第三阀门的输出侧串联设置有第二单向阀。
3.根据权利要求2所述的一种硅烷气体中痕量氦气的检测设备，其特征在于：所述第一阀门和第五阀门之间沿气体流动方向依次设置有第一压力表、第一调压阀以及第二压力表，所述第二阀门的输入端、第二单向阀的输出端连接在第一阀门和第一压力表之间。
4.根据权利要求3所述的一种硅烷气体中痕量氦气的检测设备，其特征在于：所述样品支路还包括用于控制备用硅烷气体输入的第四阀门，所述第四阀门与第一阀门并联设置。
5.根据权利要求2所述的一种硅烷气体中痕量氦气的检测设备，其特征在于：所述标准气体支路包括用于控制标准气体输入的第六阀门，所述第六阀门的输出侧沿气体流动方向依次设置有第二调压阀、第三压力表以及第七阀门；所述抽真空支路包括真空泵和第二十三阀门，所述第二十三阀门的连接在真空泵与气体浓缩仪的样品输入端之间。
6.根据权利要求1所述的一种硅烷气体中痕量氦气的检测设备，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：林恩彬，郭浩旭，刘丹，魏芳，谢宇熙，岑首溪，林志强，徐雅文，许德育，滕思慧，
申请(专利权)人：福建恒申电子材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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