一种用于保持弯月面稳定的负压供液系统、刮涂方法技术方案

本发明专利技术涉及涂布技术领域，尤其涉及一种用于保持弯月面稳定的负压供液系统、刮涂方法，负压供液系统包括：负压控制单元、与负压控制单元电连接的储液单元，以及与储液单元通过管道连接的刮头；刮头的出液口向刮头的进液口方向凹陷，形成反倒角结构。利用反倒角结构的刮头出液口，将溶液限制在凹陷处的腔体内，使得弯月面特征尺寸具有更高的重复性和稳定性，避免了刮头底部平面出液口导致的弯月面尺寸变化的问题；同时，利用负压控制单元控制液体的流动代替传统机械泵，通过调节负压控制单元，平衡液体自身的重力压强，实现溶液的稳定流出，从而能更好地维持弯月面特征尺寸的稳定，减少弯月面收缩，并确保长距离流动的稳定性和连续性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及涂布，尤其涉及一种用于保持弯月面稳定的负压供液系统、刮涂方法。

技术介绍

1、溶液法薄膜沉积技术凭借其工艺简便性与低成本优势，在半导体、光伏等关键
获得了广泛的应用，常用于制备包括钙钛矿薄膜和有机分子薄膜在内的多元化薄膜。

2、在如旋涂法、喷涂法等主流沉积方式中，弯月面涂布法因其能够最大限度减少原材料损耗并兼顾高通量生产需求的特性而备受关注。然而，传统的弯月面涂布法在致力于提升涂布速率以满足大规模生产需求的同时，也面临着弯月面和供液不稳定的问题，这在一定程度上限制了其应用潜能的充分发挥。

3、因此，现有技术还有待于改进和发展。

技术实现思路

1、鉴于上述现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种用于保持弯月面稳定的负压供液系统、刮涂方法，旨在解决现有供液系统存在弯月面和供液不稳定的问题。

2、本专利技术的技术方案如下：

3、一种用于保持弯月面稳定的负压供液系统，包括：负压控制单元、与所述负压控制单元电连接的储液单元，以及与所述储液单元通过管本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于保持弯月面稳定的负压供液系统，其特征在于，包括：负压控制单元、与所述负压控制单元电连接的储液单元，以及与所述储液单元通过管道连接的刮头；所述刮头的出液口向所述刮头的进液口方向凹陷，形成反倒角结构。

2.根据权利要求1所述的用于保持弯月面稳定的负压供液系统，其特征在于，所述反倒角结构的横截面为三角形。

3.根据权利要求1所述的用于保持弯月面稳定的负压供液系统，其特征在于，所述刮头与刮涂面之间的夹角在50°～70°之间。

4.根据权利要求3所述的用于保持弯月面稳定的负压供液系统，其特征在于，所述刮头与刮涂面之间的夹角为60°。

5....

【技术特征摘要】

1.一种用于保持弯月面稳定的负压供液系统，其特征在于，包括：负压控制单元、与所述负压控制单元电连接的储液单元，以及与所述储液单元通过管道连接的刮头；所述刮头的出液口向所述刮头的进液口方向凹陷，形成反倒角结构。

2.根据权利要求1所述的用于保持弯月面稳定的负压供液系统，其特征在于，所述反倒角结构的横截面为三角形。

3.根据权利要求1所述的用于保持弯月面稳定的负压供液系统，其特征在于，所述刮头与刮涂面之间的夹角在50°～70°之间。

4.根据权利要求3所述的用于保持弯月面稳定的负压供液系统，其特征在于，所述刮头与刮涂面之间的夹角为60°。

5.根据权利要求1所述的用于保持弯月面稳定的负压供液系统，其特征在于，所述刮头的材料表面能大于42mn/m。

6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵新彦，康梁钰淇，王佳琳，邓巍巍，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：发明
国别省市：