【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工，具体涉及一种减少晶锭崩边的带锯截断机冷却装置。
技术介绍
1、单晶晶锭作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的半导体前端材料之一，也是发展计算机与集成电路的主要功能材料。它是由滚圆完成的单晶硅棒按所需长度截断后得到的，半导体带锯截断机是截断过程中用到的主要设备。
2、在实际生产时，单晶硅棒的截断过程中有可能出现崩边的情况，增加截断工序的耗时以及单晶晶锭的良率。导致崩边的其中一个重要影响参数是锯带的冷却水温度，温度过高和过低都会造成锯带异常抖动，造成单晶晶锭的崩边。带锯截断机配备的冷却水箱的水温容易受到环境因素影响，例如，气温较低时，进入水箱的水温容易过低，而气温较高时，水箱内部的冷却水受气温和厂房内部设备热量辐射的双重影响，冷却水温度容易过高。因此，需要设计一种截断机冷却装置，使冷却水保持在合适的温度范围，减少晶锭崩边。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是克服
技术介绍
中存在的不足，提供一种减少晶锭崩边的带锯截断机冷却装置，能够向锯带供应温...
【技术保护点】
1.一种减少晶锭崩边的带锯截断机冷却装置，包括水箱（4）、与水箱（4）连接的进水管道（2）和出水管道（9），进水管道（2）连接到供水总管（1），出水管道（9）的出口为锯带（11）供应冷却水，其特征在于：所述出水管道（9）设置有用于检测出水温度的水温检测元件，水箱（4）设置有用于提升水温的加热元件（6），进水管道（2）设置有电磁阀（3）；
2.根据权利要求1所述的一种减少晶锭崩边的带锯截断机冷却装置，其特征在于，所述水温检测元件为具有输出功能的温度计（8），或者配备有温度显示元件的温度传感器。
3.根据权利要求1所述的一种减少晶锭崩边的带锯截断机...
【技术特征摘要】
1.一种减少晶锭崩边的带锯截断机冷却装置，包括水箱（4）、与水箱（4）连接的进水管道（2）和出水管道（9），进水管道（2）连接到供水总管（1），出水管道（9）的出口为锯带（11）供应冷却水，其特征在于：所述出水管道（9）设置有用于检测出水温度的水温检测元件，水箱（4）设置有用于提升水温的加热元件（6），进水管道（2）设置有电磁阀（3）；
2.根据权利要求1所述的一种减少晶锭崩边的带锯截断机冷却装置，其特征在于，所述水温检测元件为具有输出功能的温度计（8），或者配备有温度显示元件的温度传感器。
3.根据权利要求1所述的一种减少晶锭崩边的带锯截断机冷却装置，其特征在于，所述水箱（4）设置有溢流管（5）。
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种减少晶锭崩边...
【专利技术属性】
技术研发人员：勒帅帅，李巨晓，
申请(专利权)人：浙江丽水中欣晶圆半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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