一种具有透明层石英坩埚的熔制装置制造方法及图纸

技术编号:46393313 阅读:4 留言:0更新日期:2025-09-16 19:46
本申请提供一种具有透明层石英坩埚的熔制装置,涉及坩埚炉技术领域。包括熔制箱体、石墨模具、电弧结构和抽真空组件,所述熔制箱体内设有固定架和旋转座,所述石墨模具转动式设置于所述旋转座,所述电弧结构升降式安装于所述固定架,并位于所述石墨模具开口正上方,以升降伸入所述石墨模具内,所述抽真空组件与所述熔制箱体连接,本技术结构简单,设计合理,熔制时,在石墨模具旋转成型石英坩埚的同时,电弧结构升降式伸入石墨模具内,进行熔制,并通过升降高度的灵活调节,以实现对石英坩埚的高温抛光和挥发去除杂质,有效保证石英坩埚透明层的成型质量。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及坩埚炉,具体而言,涉及一种具有透明层石英坩埚的熔制装置


技术介绍

1、目前市场主流的是用电弧法制备半透明石英坩埚。电弧法熔制炉制备的石英坩埚有内外两层结构,外层是高气泡密度的区域,称为气泡复合层。气泡复合层受热较均匀,保温效果较好;内层是一层3-5mm的透明层,称为气泡空乏层。气泡空乏层的存在使坩埚与溶液接触区的气泡密度降低,从而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。

2、透明层对石英坩埚拉晶有很大的影响,透明层越好单晶得料率越高,然而目前市场上的石英坩埚在熔制透明层的过程中十分容易造成其气泡含量过多,从而导致石英坩埚不合格导致浪费了大量的资源成本。

3、鉴于此,本申请旨在提供一种具有透明层石英坩埚的熔制装置,以更好地解决上述技术问题。


技术实现思路

1、本申请实施例的目的在于提供一种具有透明层石英坩埚的熔制装置,其能够解决石英坩埚在熔制透明层的过程中十分容易造成其气泡含量过多的技术问题。

2、本申请实施例提供一种具有透明层石英坩埚的熔制装置,包括熔制箱体、石墨模具、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有透明层石英坩埚的熔制装置,其特征在于:包括熔制箱体、石墨模具、电弧结构和抽真空组件,所述熔制箱体内设有固定架和旋转座,所述石墨模具转动式设置于所述旋转座,所述电弧结构升降式安装于所述固定架,并位于所述石墨模具开口正上方,以升降伸入所述石墨模具内,所述抽真空组件与所述熔制箱体连接。

2.根据权利要求1所述的具有透明层石英坩埚的熔制装置,其特征在于:所述石墨模具的旋转轴线与水平面垂直的线之间的角度为7-16°。

3.根据权利要求1所述的具有透明层石英坩埚的熔制装置,其特征在于:所述石墨模具底端均匀设置有多个排气孔。

4.根据权利要求1所述的具有...

【技术特征摘要】

1.一种具有透明层石英坩埚的熔制装置,其特征在于:包括熔制箱体、石墨模具、电弧结构和抽真空组件,所述熔制箱体内设有固定架和旋转座,所述石墨模具转动式设置于所述旋转座,所述电弧结构升降式安装于所述固定架,并位于所述石墨模具开口正上方,以升降伸入所述石墨模具内,所述抽真空组件与所述熔制箱体连接。

2.根据权利要求1所述的具有透明层石英坩埚的熔制装置,其特征在于:所述石墨模具的旋转轴线与水平面垂直的线之间的角度为7-16°。

3.根据权利要求1所述的具有透明层石英坩埚的熔制装置,其特征在于:所述石墨模具底端均匀设置有多个排气孔。

4.根据权利要求1所述的具有透...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘磊万鹏远刘伟郑俊辉
申请(专利权)人:江苏复高新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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