【技术实现步骤摘要】
本申请涉及零点漂移补偿，具体涉及一种mems氢气传感器的漂移补偿方法及系统。
技术介绍
1、mems氢气传感器是一种利用微机电子系统(mems)技术制造的氢气传感器，具有尺寸小、功耗低、响应恢复快等优点。但是氢气传感器在使用的过程中，其输出电压的零点值通常会因环境中温度、湿度的变化而发生漂移，即在没有氢气输入的情况下，其输出电压会出现上下飘动的现象，而这种漂移会降低氢气传感器的测量精度，影响对氢气浓度的判断，因此需要对mems氢气传感器进行漂移补偿。
2、在对氢气传感器进行漂移补偿时，通常需要建立能反映氢气传感器的输出电压的零点值与环境中温度、湿度之间关系的拟合模型，通过该拟合模型，可以预测氢气传感器的输出电压的零点值在不同温度、湿度条件下的变化规律，进而校正氢气传感器实际的输出电压，实现漂移补偿。但是，在对氢气传感器的输出电压进行数据采集的过程中，采集得到的输出电压往往会因氢气传感器本身的随机误差、测量环境中的电磁干扰、数据传输过程中的误差等因素而被引入噪声数据，这些噪声数据会使最终构建的拟合模型的精度受到影响，导致拟合模...
【技术保护点】
1.一种MEMS氢气传感器的漂移补偿方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种MEMS氢气传感器的漂移补偿方法，其特征在于，在所有预设温度下，恒温恒湿试验箱内的湿度均以相同的预设起始值、以相同的湿度变化速率，并以相同的预设终止值进行连续变化。
3.如权利要求1所述的一种MEMS氢气传感器的漂移补偿方法，其特征在于，所述第一分布特征值的确定包括：
4.如权利要求3所述的一种MEMS氢气传感器的漂移补偿方法，其特征在于，所述第一分布特征值为所述均值与所述额定最大输出电压的比值。
5.如权利要求1所述的...
【技术特征摘要】
1.一种mems氢气传感器的漂移补偿方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种mems氢气传感器的漂移补偿方法，其特征在于，在所有预设温度下，恒温恒湿试验箱内的湿度均以相同的预设起始值、以相同的湿度变化速率，并以相同的预设终止值进行连续变化。
3.如权利要求1所述的一种mems氢气传感器的漂移补偿方法，其特征在于，所述第一分布特征值的确定包括：
4.如权利要求3所述的一种mems氢气传感器的漂移补偿方法，其特征在于，所述第一分布特征值为所述均值与所述额定最大输出电压的比值。
5.如权利要求1所述的一种mems氢气传感器的漂移补偿方法，其特征在于，所述第二分布特征值的确定包括：
6.如权利要求1所述的一种mems氢气传感器的漂移补偿方法，其特征在于，所述剔除系数为所述第一分布特征值与所述第二分布特征值的均...
【专利技术属性】
技术研发人员：李剑，温剑锐，麻玉典，
申请(专利权)人：深圳市智芯微纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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