【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微细物体三维形貌测量领域，尤其涉及一种基于结构光的大景深微结构三维重建及测量方法。
技术介绍
1、如今，随着电子科学技术的快速进步，制造业得到了蓬勃发展，一系列高科技便携通信设备如手机电脑等深刻的影响着人们的生活。微尺度大小的器件已经渗透到各个领域，例如医学领域植入式微型机器人，再入光学领域的微阵列透镜等等其特征是尺寸通常在微米到毫米量级，对于这一系列微细结构物体的三维形貌测量对精密制造，工业质检等领域都有着重要的影响。也正是因为如此导致人们对于微细结构三维测量的需求也越来越高。目前已经发展出了很多的方法用于这一类尺寸的物体形貌测量。主要可以分为接触式和非接触式两种。接触式而言有原子力显微镜和扫描电子显微镜，他们的特点在于虽然精度很高，但是由于其测量通常需要接触样品，因此容易造成样品表面受损等问题。
2、另一方面非接触测量中，具有代表性的有白光干涉仪，它可以实现全场非接触式测量，而且具有比较高的灵敏度和精度。但是其景深有限，同时存在衍射蝠翼效应，最重要的是对于过于粗糙，反射性较差的表面，其难以测量。而结构光兼具...
【技术保护点】
1.一种基于结构光的大景深微结构三维重建及测量方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述显微结构光测量系统包括：固体激光器、分束镜、反射镜、迈克尔逊干涉仪、显微物镜和探测器。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，基于所述显微结构光测量系统获取待测物体图像信息的过程包括：
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述探测器的总光强的表达式为：
5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述离轴角根据待测样品的最高空间频率和激光波长计算得到。
6.根据权利要求2所述的方法，其...
【技术特征摘要】
1.一种基于结构光的大景深微结构三维重建及测量方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述显微结构光测量系统包括：固体激光器、分束镜、反射镜、迈克尔逊干涉仪、显微物镜和探测器。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，基于所述显微结构光测量系统获取待测物体图像信息的过程包括：
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述探测器的总光强的表达式为：
5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述离轴角根据待测样品的最高空间频率和激光波长计算得到。
6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所...
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