用于光学元件的调制传递函数测量装置和方法制造方法及图纸

技术编号:46319812 阅读:11 留言:0更新日期:2025-09-05 18:55
本文的实施方式提供了一种用于确定光学元件调制传递函数(MTF)的测量系统。所述测量系统包括可操作为保持光学元件或其上设置有至少一个光学元件的光学元件基板的平台。光引擎在所述平台之上设置。所述光引擎包括可操作为将波长范围的光投影到所述光学元件的光源。主光罩可操作为根据从所述光源投影的所述光形成图案。第一透镜可操作为将来自所述光源的所述光朝向所述光学元件或光学元件基板准直。近场检测器可操作为检测来自所述光学元件或光学元件基板的所述光。所述远场检测器可操作为检测来自所述光学元件基板的所述光学元件的所述光。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开的实施方式大体涉及光学元件。更具体地,本文描述的实施方式提供了一种用于确定光学元件的调制传递函数(modulation transfer function; mtf)的方法及装置。


技术介绍

1、虚拟现实通常被认为是计算机产生的模拟环境,其中用户具有表观实体存在。虚拟现实体验可以在3d中产生,并且用头戴式显示器(head-mounted display; hmd)观看,诸如眼镜或其他可穿戴显示元件,该等显示元件具有近眼显示面板作为透镜以显示替代实际环境的虚拟现实环境。

2、然而,扩增实境实现用户仍然可以穿过眼镜或其他hmd元件的显示透镜观看周围环境,亦能够看到虚拟对象的影像的体验,该等虚拟对象经产生用于显示并且作为环境的部分出现。扩增实境可以包括任何类型的输入,诸如音频及触觉输入,以及增强或扩增用户体验的环境的虚拟图像、图形、及视频。作为新兴技术,扩增实境存在许多挑战及设计约束。

3、一个此种挑战是确定光学元件的光学分辨率,以确保满足影像质量标准。目前用于光学元件的测量系统大体在大视野上具有低取样率以及低处理量,并且不能适当地本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种测量系统,所述测量系统包含:

2.如权利要求1所述的测量系统,其中所述近场检测器在所述光学元件或光学元件基板的顶侧处定位,并且所述远场检测器在所述光学元件或光学元件基板的底侧处定位。

3.如权利要求1所述的测量系统,其中所述近场检测器在所述光学元件或光学元件基板的底侧处定位,并且所述远场检测器在所述光学元件或光学元件基板的顶侧处定位。

4.如权利要求1所述的测量系统,其中所述近场检测器是波前传感器。

5.如权利要求1所述的测量系统,其中所述平台可操作为在X方向、Y方向、及Z方向上移动。

6.如权利要求1所述的测量系统,其...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种测量系统,所述测量系统包含:

2.如权利要求1所述的测量系统,其中所述近场检测器在所述光学元件或光学元件基板的顶侧处定位,并且所述远场检测器在所述光学元件或光学元件基板的底侧处定位。

3.如权利要求1所述的测量系统,其中所述近场检测器在所述光学元件或光学元件基板的底侧处定位,并且所述远场检测器在所述光学元件或光学元件基板的顶侧处定位。

4.如权利要求1所述的测量系统,其中所述近场检测器是波前传感器。

5.如权利要求1所述的测量系统,其中所述平台可操作为在x方向、y方向、及z方向上移动。

6.如权利要求1所述的测量系统,其中所述平台是透明的。

7.如权利要求1所述的测量系统,所述测量系统进一步包含可操作为确定所述平台及所述光学元件或所述光学元件基板的位置的对准相机。

8.一种方法,所述方法包含:

9.如权利要求8所述的方法,其中所述近场检测器在所述光学元件或光学元件基板的顶侧处定位,并且所述远场检测器在所述光学元件或光学元件基板的底侧处定位。

10.如权利要求8所述的方法,其中所述近场检测器在所述光学元件或光学元件基板的底侧处定位,并且所述远场检测器在所述光学元件或光学元件基板的顶侧处定位。

11....

【专利技术属性】
技术研发人员:傅晋欣孙阳阳杨济源卢多维克·戈代
申请(专利权)人:应用材料公司
类型:发明
国别省市:

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