一种柔性基板剥离装置制造方法及图纸

技术编号:46256331 阅读:6 留言:0更新日期:2025-08-29 20:06
本发明专利技术公开了一种柔性基板剥离装置,涉及柔性器件制造技术领域,具体包括工作台和空压机,工作台的顶部设置有放置载台,放置载台顶部的中部设置有第一真空吸盘,放置载台顶部的外圈设置有限位框,限位框顶部的一侧活动连接有限位压板,限位压板的中部镶嵌有与柔性基板适配的平面镜片,限位框的中部设置有鼓风板。本申请利用降温后的压缩空气与生成的气态产物进行换热,降低柔性基板的残余温度,进而降低柔性基板的热损伤概率,提高柔性基板的良率,压缩空气与平面镜片的协同作用可对柔性基板的限位,降低柔性基板出现弯曲变形概率;且在完成激光剥离操作后,利用压缩空气可判断柔性基板与刚性支撑板是否出现完全剥离。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及柔性器件制造,具体为一种柔性基板剥离装置


技术介绍

1、柔性基板是一种采用柔性材料制成的电路板,具有可弯曲、折叠、卷绕等特性,广泛应用于智能手机、可穿戴设备、柔性显示屏等领域,与传统刚性电路板相比,柔性基板能适应复杂空间布局,实现电子产品轻薄化和小型化。

2、在制造过程中,柔性基板通常需要粘附在刚性支撑基板上进行加工(如光刻、镀膜等),完成器件制作后需剥离以释放柔性特性,例如,柔性oled屏幕制造中需将基板从玻璃载体上剥离。目前,柔性基板剥离常用的方法为激光剥离法,该方法通过高能激光束选择性作用于材料界面,利用光热效应或化学效应分散界面结合层,实现柔性基板与刚性支撑基板的非接触式分离,在此过程中,激光能量使界面材料瞬时升温,触发化学反应,生成气态产物,而气态产物通常具有瞬时高温特性,易导致柔性基板出现热损伤,并且经过激光剥离后,柔性基板与刚性支撑板可能仍存在物理接触或残余应力,需通过辅助设备进一步分离,影响柔性基板剥离速度;基于此,本申请提出一种柔性基板剥离装置。


技术实现思路b>

1本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种柔性基板剥离装置,包括工作台(1)和空压机(22),其特征在于:所述工作台(1)的顶部设置有放置载台(2),所述放置载台(2)顶部的中部设置有第一真空吸盘(10),所述放置载台(2)顶部的外圈设置有限位框(5),所述限位框(5)顶部的一侧活动连接有限位压板(3),所述限位压板(3)的中部镶嵌有与柔性基板适配的平面镜片(4),所述限位框(5)的中部设置有鼓风板(6),所述限位框(5)的一侧设置有抽风板(7);所述工作台(1)的顶部设置有吹尘板(20),所述吹尘板(20)靠近放置载台(2)一侧的顶端均匀设置有喷风孔,所述吹尘板(20)的进风端和鼓风板(6)的进风端均与空压机(22)的...

【技术特征摘要】

1.一种柔性基板剥离装置,包括工作台(1)和空压机(22),其特征在于:所述工作台(1)的顶部设置有放置载台(2),所述放置载台(2)顶部的中部设置有第一真空吸盘(10),所述放置载台(2)顶部的外圈设置有限位框(5),所述限位框(5)顶部的一侧活动连接有限位压板(3),所述限位压板(3)的中部镶嵌有与柔性基板适配的平面镜片(4),所述限位框(5)的中部设置有鼓风板(6),所述限位框(5)的一侧设置有抽风板(7);所述工作台(1)的顶部设置有吹尘板(20),所述吹尘板(20)靠近放置载台(2)一侧的顶端均匀设置有喷风孔,所述吹尘板(20)的进风端和鼓风板(6)的进风端均与空压机(22)的出风端连接,且鼓风板(6)的进风通路上设置有制冷器(9)。

2.根据权利要求1所述的一种柔性基板剥离装置,其特征在于:所述吹尘板(20)喷出的气流覆盖放置载台(2)上方区域和制冷器(9)的热端。

3.根据权利要求1所述的一种柔性基板剥离装置,其特征在于:所述放置载台(2)的一侧设置有抽风机(13),所述抽风机(13)的进风端与抽风板(7)的出风端连接,所述抽风机(13)的出风端与第一空气过滤器(14)的进风端连接;所述放置载台(2)的一侧设置有第一真空泵(12)和排气通道,所述第一真空泵(12)的进风端与第一真空吸盘(10)的内腔连接,所述第一真空泵(12)的出风端与排气风道(11)的内腔连通。

4.根据权利要求1所述的一种柔性基板剥离装置,其特征在于:所述限位框(5)为u型结构,所述限位框(5)的开口端与鼓风板(6)相对设置。

5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员:吕勇张富轩崔草香张春扬郭柏君李晓东
申请(专利权)人:国鲸合创青岛科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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