【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种光电子器件，具体而言，涉及一种包括由半导体材料制成的发光二极管的显示屏或图像投影设备，及其制造方法。
技术介绍
1、已知将图像投影在透明屏幕(例如眼镜、汽车挡风玻璃或玻璃板)的波导光栅的输入端上，然后将图像投影到用户的眼睛上。例如，智能眼镜或增强现实眼镜就是这种情况。为此，光电子器件在屏幕上投影图像，然后在屏幕中引导图像到达使用户可以看到图像的系统。光电子器件可以包括例如由半导体材料制成的发光二极管。通常将显示器配置为仅适当地引导发光二极管发射的辐射，该辐射基本上沿着给定方向传播。因此，由发光二极管提供的辐射的方向性是这种光电子器件的重要特性。
技术实现思路
1、因此，实施例提供了一种包括轴向二极管的阵列的光电子器件，每个二极管形成谐振腔，在所述谐振腔中形成有电磁驻波，每个发光二极管包括基本上位于所述电磁波的极值水平上的有源区域，所述阵列形成光子晶体，所述光子晶体被配置为最大化由所述二极管阵列提供的电磁辐射的强度。
2、根据实施例，所述阵列包括上面搁置所述二极管的...
【技术保护点】
1.一种制造光电子器件的方法，所述光电子器件包括轴向二极管(100)的阵列(200)，每个二极管形成谐振腔，在所述谐振腔中形成有电磁驻波，每个二极管的有源区域(104)基本上位于所述电磁波的极值(110)水平上，所述阵列形成光子晶体，所述光子晶体被配置为最大化由所述二极管阵列提供的电磁辐射的强度，其中所述阵列的所述二极管的形成包括：
2.根据权利要求1所述的方法，包括在所述第一蚀刻步骤之前，在所述第一区域(106)上形成填充层(402)。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述填充层(402)的厚度高于所述第一区域(106)的高度。
<...【技术特征摘要】
1.一种制造光电子器件的方法，所述光电子器件包括轴向二极管(100)的阵列(200)，每个二极管形成谐振腔，在所述谐振腔中形成有电磁驻波，每个二极管的有源区域(104)基本上位于所述电磁波的极值(110)水平上，所述阵列形成光子晶体，所述光子晶体被配置为最大化由所述二极管阵列提供的电磁辐射的强度，其中所述阵列的所述二极管的形成包括：
2.根据权利要求1所述的方法，包括在所述第一蚀刻步骤之前，在所述第一区域(106)上形成填充层(402)。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述填充层(402)的厚度高于所述第一区域(106)的高度。
4.根据权利要求2或3所述的方法，包括在所述第一蚀刻步骤和所述有源区域(104)的形成之间，去除所述填充层(402)。
5.根据权利要求2至4中任一项所述的方法，包括在所述第一蚀刻步骤之后和在所述有源区域(104)的形成之前，重新开始形成所述第一区域(106)的步骤。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，包括蚀刻所有所述第二区域以使它们具有相同高度的第二步骤。
【专利技术属性】
技术研发人员：蒂费纳·杜邦，伊万克里斯多夫·罗宾，
申请(专利权)人：艾利迪公司，
类型：发明
国别省市：
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