一种回收系统及其回收工艺技术方案

本发明专利技术涉及一种回收系统及其回收工艺。该回收系统包括由上游至下游依次连通的蒸发器、初馏塔、共沸精馏塔、成品回收塔；其中，所述蒸发器，用于将废稀释剂转变成所述废稀释剂蒸汽，所述废稀释剂蒸汽包括气态PGMEA和气态PGME；所述初馏塔，用于对所述废稀释剂蒸汽进行初馏处理，以去除低沸点杂质，获得初馏产品，所述初馏产品包括PGMEA和PGME；所述共沸精馏塔，用于对所述初馏产品进行精馏处理，以进行脱水，获得精馏产品，所述精馏产品包括PGMEA和PGME；所述成品回收塔，用于对所述精馏产品进行分离回收，获得PGMEA成品和PGME成品。该回收装置提高了废稀释剂中PGMEA和PGME的回收率，进一步提升企业生产的经济效益。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及废稀释剂回收领域，尤其是涉及一种回收系统及回收工艺。

技术介绍

1、丙二醇单甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl etheracetate，pgmea)和丙二醇单甲醚(propylene glycol monomethyl ether，pgme)因其溶解能力强、环保性能优良和毒性低，在电子行业得到广泛应用。pgmea和pgme是电子行业代表性的稀释剂和清洗剂成分，两者经常配成一定比例混合使用以增加其稳定性。在面板和半导体的光刻制程过程中，电子级pgmea/pgme混合溶剂主要用作稀释剂和清洗剂，稀释和清洗过程会产生大量含pgmea、pgme和水等物质的废稀释剂，对废稀释剂中的pgmea和pgme进行回收，具有经济收益和环境效益的双重效果。pgmea和pgme与水都会形成二元最低共沸物，采用传统常规精馏工艺回收废稀释剂时，水会夹带出部分的pgmea和pgme产品，原料中水含量越大，夹带出的pgmea、pgme量越多，从而降低有效成分pgmea和pgme的回收率。针对pgmea/水和pgme/水共沸体系，有必要对传统常规精馏本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种回收系统，其特征在于，包括由上游至下游依次连通的蒸发器、初馏塔、共沸精馏塔、成品回收塔；其中，

2.如权利要求1所述的回收系统，其特征在于，

3.如权利要求1所述的回收系统，其特征在于，还包括初馏塔一级冷凝器、初馏塔二级冷凝器、低沸点杂质收集罐、初馏产品收集罐；所述初馏塔、所述初馏塔一级冷凝器、所述初馏塔二级冷凝器、所述低沸点杂质收集罐通过管道依次连通；所述低沸点杂质收集罐的出口为低沸点杂质采出口；所述初馏塔一级冷凝器通过管道与所述初馏塔的回流口连通，所述初馏塔一级冷凝器还通过管道分别与所述初馏产品收集罐的入口连通、所述初馏塔二级冷凝器连通；所述初馏产品收...

【技术特征摘要】

1.一种回收系统，其特征在于，包括由上游至下游依次连通的蒸发器、初馏塔、共沸精馏塔、成品回收塔；其中，

2.如权利要求1所述的回收系统，其特征在于，

3.如权利要求1所述的回收系统，其特征在于，还包括初馏塔一级冷凝器、初馏塔二级冷凝器、低沸点杂质收集罐、初馏产品收集罐；所述初馏塔、所述初馏塔一级冷凝器、所述初馏塔二级冷凝器、所述低沸点杂质收集罐通过管道依次连通；所述低沸点杂质收集罐的出口为低沸点杂质采出口；所述初馏塔一级冷凝器通过管道与所述初馏塔的回流口连通，所述初馏塔一级冷凝器还通过管道分别与所述初馏产品收集罐的入口连通、所述初馏塔二级冷凝器连通；所述初馏产品收集罐的出口与所述共沸精馏塔通过管道连通。

4.如权利要求1所述的回收系统，其特征在于，还包括共沸精馏塔冷凝器、共...

【专利技术属性】
技术研发人员：李璟，邓国平，袁注升，洪慧怡，刘宋然，陆和欢，张井峰，
申请(专利权)人：惠州TCL环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：