一种磁力驱动的两级水环真空泵制造技术

本发明专利技术提供了一种磁力驱动的两级水环真空泵，包括泵壳、转接体和磁力驱动组件；所述泵壳上通过转接体分成2个泵室，其中每个泵室中偏心安装可旋转的转子，所述转子具有多个转子叶片，通过转子叶片的旋转，用于压缩从泵室的入口输送到出口的介质；所述转子内安装磁力单元；所述转接体与2个泵室之间设有气体流道和服务液流道，所述气体流道用于将具有腐蚀性的气体输入泵室中处理，并输出处理后的气体；所述服务液流道用于将处理腐蚀性气体的服务液输送至泵室中，并输出腐蚀产物；所述磁力驱动组件通过磁场驱动转子旋转。本发明专利技术可以有效解决水环真空泵的泄漏问题、抽气效率低、构件磨损、显著降低气体的残余压力等问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及水环真空泵领域，特别涉及到一种磁力驱动的两级水环真空泵。

技术介绍

1、水环真空泵用于泵送各种气体，但其典型的结构材料(如不锈钢、铸铁、黄铜等)使其无法长期用于强腐蚀性或反应性气体(即酸性、碱性、氧化性或还原性气体)。已知的水环真空泵是由钛、陶瓷和聚合物等特殊材料制成的，然而，这些材料不仅成本高昂，而且很难制造出具有所需精密尺寸公差的泵，特别是某些组件之间的公差，例如转子和定子。

2、在一些半导体制造工艺的抽真空过程中，例如等离子刻蚀，产生的废气流与水环真空泵中的服务液体(通常是水)发生化学反应或溶解。这会产生腐蚀性的工作液体，从而导致该腐蚀性工作液体与泵内部部件的反应产生腐蚀产物。这些腐蚀产物可能会在泵系统内引发进一步的腐蚀和磨损。单级水环真空泵极限真空度受限，并且在一些接近极限真空的低压区域，抽气速率会显著下降，性能上表现出不足。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的不足，本专利技术提供了一种磁力驱动的两级水环真空泵，可以有效解决水环真空泵的泄漏问题、抽气效率低、构件磨损、显著本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种磁力驱动的两级水环真空泵，其特征在于，包括泵壳、转接体(8)和磁力驱动组件；所述泵壳上通过转接体(8)分成2个泵室，其中每个泵室中偏心安装可旋转的转子，所述转子具有多个叶片(28)，通过叶片(28)的旋转，用于压缩从泵室的入口输送到出口的介质；所述转子内安装磁力单元；

2.根据权利要求1所述的磁力驱动的两级水环真空泵，其特征在于，所述泵壳内安装枢轴(2)，所述枢轴(2)穿过转接体(8)和2个泵室；所述转子支撑在枢轴(2)上；所述枢轴(2)偏心穿过泵室。

3.根据权利要求1所述的磁力驱动的两级水环真空泵，其特征在于，所述转接体(8)上分别设有气体入口(21)...

【技术特征摘要】

1.一种磁力驱动的两级水环真空泵，其特征在于，包括泵壳、转接体(8)和磁力驱动组件；所述泵壳上通过转接体(8)分成2个泵室，其中每个泵室中偏心安装可旋转的转子，所述转子具有多个叶片(28)，通过叶片(28)的旋转，用于压缩从泵室的入口输送到出口的介质；所述转子内安装磁力单元；

2.根据权利要求1所述的磁力驱动的两级水环真空泵，其特征在于，所述泵壳内安装枢轴(2)，所述枢轴(2)穿过转接体(8)和2个泵室；所述转子支撑在枢轴(2)上；所述枢轴(2)偏心穿过泵室。

3.根据权利要求1所述的磁力驱动的两级水环真空泵，其特征在于，所述转接体(8)上分别设有气体入口(21)、气体出口(11)、进水口(19)和排水口(22)，所述气体入口(21)和进水口(19)分别与一个泵室连通，所述气体出口(11)和水口(22)分别与另一个泵室连通，所述转接体(8)内设有连通2个泵室的流体通道(18)，所述气体入口(21)、一个泵室、流体通道(18)、另一个泵室和气体出口(11)构成了气体流道；所述进水口(19)、一个泵室、流体通道(18)、另一个泵室和和排水口(22)构成了服务液流道。

4.根据权利要求1所述的磁力驱动的两级水环真空泵，其特征在于，所述磁力驱动组件包括从动永磁体(13)和定子绕组(20)，所述从动永磁体(13)通过定子绕组(20)驱动，所述从动永磁体(13)位于转子内；所述定子绕组(20)位于泵壳内部；所述定子绕组(...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛杰，游欣燊，孙涛，王秀礼，
申请(专利权)人：新界泵业浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：