【技术实现步骤摘要】
本公开总体上涉及流量控制，更具体地涉及具有质量积累补偿的流量比控制器以及利用质量积累补偿的气体分配系统。
技术介绍
1、流量比控制器接收一种或多种气体的流，并根据限定的比例在多个输出之间分配该流。
技术实现思路
1、公开了具有质量积累补偿的流量比控制器以及利用质量积累补偿的气体分配系统，基本上如通过至少一个图图示并且结合该至少一个图描述的、如在权利要求中更完整地阐述的那样。
【技术保护点】
1.一种流量比控制器，包括：
2.如权利要求1所述的流量比控制器，其中，所述控制电路系统被配置为：
3.如权利要求1所述的流量比控制器，其中，所述控制电路系统被配置为：
4.如权利要求1所述的流量比控制器，其中，所述第一流量阀包括彼此串联的第一损失区域与第二损失区域，其中，所述控制电路系统被配置为基于计算穿过所述第一损失区域的第一层流并且计算穿过所述第二损失区域的第一壅塞流来控制所述第一流量阀。
5.如权利要求4所述的流量比控制器，其中，所述第二流量阀包括第三损失区域和第四损失区域，其中，所述控制电路系统被配置为基于计算...
【技术特征摘要】
1.一种流量比控制器，包括：
2.如权利要求1所述的流量比控制器，其中，所述控制电路系统被配置为：
3.如权利要求1所述的流量比控制器，其中，所述控制电路系统被配置为：
4.如权利要求1所述的流量比控制器，其中，所述第一流量阀包括彼此串联的第一损失区域与第二损失区域，其中，所述控制电路系统被配置为基于计算穿过所述第一损失区域的第一层流并且计算穿过所述第二损失区域的第一壅塞流来控制所述第一流量阀。
5.如权利要求4所述的流量比控制器，其中，所述第二流量阀包括第三损失区域和第四损失区域，其中，所述控制电路系统被配置为基于计算穿过所述第三损失区域的第二层流并且计算穿过所述第四损失区域的第二壅塞流来控制所述第二流量阀。
6.如权利要求1所述的流量比控制器，其中，所述第一流量阀和所述第二流量阀各自包括压电阀。
7.如权利要求1所述的流量比控制器，其中，所述第一位置传感器和所述第二位置传感器各自包括电容式位置传感器、应变片式位置传感器、霍尔效应位置传感器、或光学位置传感器。
8.如权利要求1所述的流量比控制器，进一步包括歧管，所述歧管被配置为将所述输入处理气体流分配到所述第一流量阀和所述第二流量阀，其中，所述入口压力传感器被配置为测量所述歧管中的入口压力。
9.如权利要求1所述的流量比控制器，其中，所述流量比控制器包括三个或更多个流量阀，所述三个或更多个流量阀包括所述第一流量阀和所述第二流量阀，所述三个或更多个流量阀中的每一个流量阀具有孔口、位置传...
【专利技术属性】
技术研发人员：穆罕默德·萨利姆，安德鲁·施陶特，
申请(专利权)人：伊利诺斯工具制品有限公司，
类型：发明
国别省市：
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