【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微电子，具体涉及突触器件，尤其涉及一种氧化镓紫外光突触器件及其制备方法。
技术介绍
1、神经形态计算被认为是解决日益复杂任务的有前景的人工智能计算方法之一。由于冯·诺依曼架构中的通信瓶颈，即操作单元和存储单元的分离，这导致了硬件冗余、功耗和计算延迟，传统的冯·诺依曼计算系统难以满足神经形态计算的实际需求。相比之下，人脑具有出色的能力，能够以低功耗、分布式存储和处理、自我学习等方式并行解决问题。研究表明，生物突触在计算和存储方面的双重能力是人脑表现出优异特征的关键因素。外部刺激(如光、气味、声音、压力和化学物质等)在到达人脑之前由感觉系统进行检测和处理。在感知系统中，视觉系统在学习和记忆过程中发挥着重要作用，80％以上的环境刺激通过视觉系统传递，对人体感知起着关键作用。因此，模拟视觉感知至关重要。光电突触装置可以将视觉刺激转化为电子信息，实现检测与记忆的集成，模拟视觉。由于其高带宽、低串扰和低功耗，简洁的结构使计算速度更快，这为解决冯·诺依曼通信瓶颈问题以及模拟人脑突触行为的神经形态计算提供了可能。
2、此外，光...
【技术保护点】
1.一种氧化镓紫外光突触器件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的氧化镓紫外光突触器件，其特征在于，所述衬底层的制备材料选自硅、碳化硅、蓝宝石或氮化镓中的任意一种。
3.根据权利要求1所述的氧化镓紫外光突触器件，其特征在于，所述氧化镓吸光层为ε-Ga2O3吸光层，且存在氧空位缺陷。
4.根据权利要求1所述的氧化镓紫外光突触器件，其特征在于，所述氧化镓吸光层的厚度为5-1000nm。
5.根据权利要求1所述的氧化镓紫外光突触器件，其特征在于，所述氧化镓吸光层可响应的紫外光的波长范围为200-400nm。
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