一种气体质量流量控制器制造技术

本技术公开了一种气体质量流量控制器，包括主管，用于通过气体；副管，固定设置于所述主管，所述副管的两端具有进气管和排气管，所述进气管和所述排气管均连通于所述主管；调试组件，设置于所述副管，用于加热所述副管内的气体；冷却装置，固定设置于所述副管，用于对所述副管内的气体降温；在工作状态中，气体在所述主管内流动，通过所述进气管后进入所述副管，在所述调试组件处加热，加热的气体经所述冷却装置降温后，通过所述排气管进入所述主管。本技术能够对加热后的气体进行降温，降温后的气体通过排气管进入到主管内，使副管内的气体与主管内的气体的温度梯度降低，减小由于温度变化引起的热虹吸效应。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种气体质量流量控制器。

技术介绍

1、mfc为气体质量流量控制器，通过测量流经的气体流量，实现自动控制气体流量，并根据用户需求进行流量设定的功能。

2、在现有技术中，常用的mfc为温度式，相比于压力式，其具有不接触气体即可测量气体流量的显著优点，其大部分气体都流经主管，只有一小部分经过副管后进行流量监测，mfc的传感器管分主管和副管，副管具有温度传导快且均匀，因此准确且反应快的优点，但由于其直径偏小，也存在易堵塞的问题；且易受热虹吸影响，气体易回流，对气体流量检测结果产生干扰。

3、因此，有必要提供一种新的气体质量流量控制器，以解决现有技术中存在的上述问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种气体质量流量控制器，能改善其管道易堵塞的问题，并减小管道内气体易受热虹吸影响而导致回流的可能。

2、为实现上述目的，本技术的技术方案如下：

3、一种气体质量流量控制器，包括：

4、主管，用于通过气体；</p>

5、副管本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种气体质量流量控制器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的气体质量流量控制器，其特征在于，所述冷却装置(400)包括多个冷却器(410)和第一传感器(420)，多个所述冷却器(410)和所述第一传感器(420)沿所述进气管(210)至所述排气管(220)方向依次固定设置于所述副管(200)的侧壁，所述冷却器(410)用于对所述副管(200)内的气体降温，所述第一传感器(420)用于监测气体经过所述冷却器(410)后的温度。

3.根据权利要求2所述的气体质量流量控制器，其特征在于，所述副管(200)内设置有单向阀(500)，所述单向阀(500)设置于所...

【技术特征摘要】

1.一种气体质量流量控制器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的气体质量流量控制器，其特征在于，所述冷却装置(400)包括多个冷却器(410)和第一传感器(420)，多个所述冷却器(410)和所述第一传感器(420)沿所述进气管(210)至所述排气管(220)方向依次固定设置于所述副管(200)的侧壁，所述冷却器(410)用于对所述副管(200)内的气体降温，所述第一传感器(420)用于监测气体经过所述冷却器(410)后的温度。

3.根据权利要求2所述的气体质量流量控制器，其特征在于，所述副管(200)内设置有单向阀(500)，所述单向阀(500)设置于所述第一传感器(420)与所述排气管(220)之间；

4.根据权利要求3所述的气体质量流量控制器，其特征在于，所述单向阀(500)包括：

5.根据权利要求4所述的气体质量流量控制器，其特征在于，所述排气管(220)与所述副管(200)之间具有一定夹角，所述弹性件(530)一端与所述排气管(220)内壁连接，另一端与所述封堵件(520)连接。

6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琦，赵建蕾，朱思伦，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：