一种金刚石线锯切割液的AI+识别精确供给装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种金刚石线锯切割液的AI+识别精确供给装置，包括多源感知模组、智能决策模组和控制调节模组，多源感知模组用于通过整合多种异构传感器的数据实现对环境全面感知与智能决策，智能决策模组用于建立AI模型智能决策最优切割液流体行为需求，控制调节模组用于根据AI分析优化指令通过高精度微量泵和气泵调节切割液的流量和雾化效果；本发明专利技术通过多源感知模组实时精准监测切割状态，利用智能决策模组融合多模态数据并建立AI模型动态决策最优切割液需求，最终由控制调节模组驱动高精度微量泵和气泵协同调控切割液的流量、压力及雾化效果，显著提升切割液的渗透性、覆盖均匀性及流体行为可控性，有效减少边缘崩边、亚表面损伤。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及金刚石线锯切割，尤其涉及一种金刚石线锯切割液的ai+识别精确供给装置。

技术介绍

1、单晶碳化硅作为第三代半导体的关键材料，凭借其高效率、高密度、高可靠性的特点使其在新能源汽车、国防建设、先进医疗等领域具备广阔应用前景。切割加工是制备高品质单晶碳化硅衬底晶圆的首要工艺，面临着边缘崩边和亚表面损伤等问题，这也为后续的研磨抛光工艺引入了额外的加工时间和加工难度，线锯切割液是影响sic切割的质量和效率的关键因素之一，特别是面对大尺寸、超薄sic的切割时，切割液尤为关键。另一方面开发绿色环保的切割工艺是必然趋势。因此，如何从优化金刚石线锯切割工艺出发研究新型切割液及有效供给还需进一步深入研究；

2、金刚石线锯切割液供给装置是线切割系统的核心子系统之一，主要承担冷却、润滑、排屑、防锈及工艺优化等功能，对切割质量、效率和成本控制至关重要，金刚石线锯高速运动与硬脆材料摩擦时产生高温，切割液通过喷淋或雾化形式直接作用于切割区域，迅速带走热量，避免材料因局部过热导致相变、微裂纹或翘曲变形；

3、现有的金刚石线锯切割液存在有效供给不足与分本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种金刚石线锯切割液的AI+识别精确供给装置，其特征在于：包括多源感知模组、智能决策模组和控制调节模组，所述多源感知模组用于通过整合多种异构传感器的数据实现对环境全面感知与智能决策，所述智能决策模组用于建立AI模型智能决策最优切割液流体行为需求，所述控制调节模组用于根据AI分析优化指令通过高精度微量泵和气泵调节切割液的流量和雾化效果。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石线锯切割液的AI+识别精确供给装置，其特征在于：所述多源感知模组包括视觉识别模块、振动感应模块和电流感应模块，所述视觉识别模块用于通过部署工业相机实时捕捉识别锯丝与工件接触区域图像，所述振动感应模块用于实时...

【技术特征摘要】

1.一种金刚石线锯切割液的ai+识别精确供给装置，其特征在于：包括多源感知模组、智能决策模组和控制调节模组，所述多源感知模组用于通过整合多种异构传感器的数据实现对环境全面感知与智能决策，所述智能决策模组用于建立ai模型智能决策最优切割液流体行为需求，所述控制调节模组用于根据ai分析优化指令通过高精度微量泵和气泵调节切割液的流量和雾化效果。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石线锯切割液的ai+识别精确供给装置，其特征在于：所述多源感知模组包括视觉识别模块、振动感应模块和电流感应模块，所述视觉识别模块用于通过部署工业相机实时捕捉识别锯丝与工件接触区域图像，所述振动感应模块用于实时监测切割力、张力波动和震动频谱特征，所述电流感应模块用于检测主轴电机电流波动，间接反映切割负载变化。

3.根据权利要求2所述的一种金刚石线锯切割液的ai+识别精确供给装置，其特征在于：所述振动感应模块包括拉力传感器和振动传感器，所述拉力传感器和振动传感器安装在主轴和张紧导轮上。

4.根据权利要求1所述的一种金刚石线锯切割液的ai+识别精确供给装置，其特征在于：所述智能决策模组包括数据处理模块和效果评估模块，所述数据处理模块用于将原始数据进行滤波、降噪预处理，从图像中提取分割特征，所述效果评估模块用于持续监测执行后图像分布和温度变化，并根据图像变化和温度变化进行评估反馈。

5.根据权利要求1所述的一种金刚石线锯切割液的ai+识别精确供给装置，其特征在于：所述控制调节模组包括微量润滑模块和精密供液模块，所述微量润滑模块用于通过压缩气体将切割液雾化为微米级液雾，精准喷射至加工区域进行润滑降温，所述精密供液模块用于通过高...

【专利技术属性】
技术研发人员：张威，王紫桓，周泽军，
申请(专利权)人：宁波职业技术学院，
类型：发明
国别省市：