【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及表征化学强化透明衬底中的应力，并且具体地说，涉及用于表征化学强化透明衬底中的应力的混合系统和方法。
技术介绍
1、经过化学强化处理的透明衬底展现增强的抗刮擦性和抗破损性。这些衬底对于各种显示应用，从电视屏幕到计算机屏幕到移动手持式装置屏幕到手表都非常有用。示例化学强化过程为离子交换(iox)过程，玻璃衬底的近表面区域中的离子通过所述过程与外部离子(例如来自盐浴)进行交换。
2、制造化学强化(cs)的透明衬底需要表征其应力特性以确保cs衬底具有适合于给定应用的期望化学强化水平。表征通常需要测量cs衬底从表面到中心的应力剖面，以及相关应力参数，例如表面压缩应力、膝应力、尖峰层深度、总层深度、压缩深度以及中心张力。其它应力相关参数包含双折射率随着在cs衬底中的深度的变化。
3、存在用于表征透明cs衬底的应力的两种主要方法。第一种方法利用倏逝波棱镜耦合光谱法(epcs)。epcs方法使用耦合棱镜将光耦合到由衬底中形成的近表面波导(nswg)支持的导模中，例如通过iox过程。耦合棱镜还用于耦合来自nswg的光以形...
【技术保护点】
1.一种用于表征具有顶部表面和近表面波导的化学强化(CS)衬底中的应力的混合系统的散射光偏振测量(LSP)子系统，其包括：
2.根据权利要求1所述的LSP子系统，其进一步包括倏逝波棱镜耦合光谱(EPCS)子系统，所述EPCS子系统包括通过具有EPCS耦合表面的EPCS耦合棱镜进行光学通信的EPCS光源系统和EPCS检测器系统。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的LSP子系统，其中所述半波片致动器自动旋转所述半波片，使得所述LSP激光束达到预定光束强度。
4.根据前述权利要求中任一项所述的LSP子系统，其中所述可平移扩散器致动器自动...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于表征具有顶部表面和近表面波导的化学强化(cs)衬底中的应力的混合系统的散射光偏振测量(lsp)子系统，其包括：
2.根据权利要求1所述的lsp子系统，其进一步包括倏逝波棱镜耦合光谱(epcs)子系统，所述epcs子系统包括通过具有epcs耦合表面的epcs耦合棱镜进行光学通信的epcs光源系统和epcs检测器系统。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的lsp子系统，其中所述半波片致动器自动旋转所述半波片，使得所述lsp激光束达到预定光束强度。
4.根据前述权利要求中任一项所述的lsp子系统，其中所述可平移扩散器致动器自动调整所述扩散器的位置。
5.一种测量具有表面、接近所述表面的近表面波导和与所述表面相对的背衬表面的化学强化(cs)衬底的第一和第二应力特性的方法，其包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其中进行所述lsp测量包括：
7.根据权利要求5所述的方法，其中进行所述lsp测量包括：
8.根据权利要求5所述的方法，其中进行所述lsp测量包括：
9.根据权利要求5所述的方法，其中进行所述lsp测量包括：
10.根据权利要求5所述的方法，其进一步包括：
...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·C·安德鲁斯，D·M·伯格，P·M·布孜，W·J·弗纳斯，C·D·吉，J·艾默曼，A·A·林德斯特兰德，G·A·纽康芒，E·L·奥尔森，墨尔本四世·T·特恩布尔，N·D·韦特莫尔，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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