【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及水处理，具体涉及一种用于超纯水生产中尿素高效去除的嵌入式装置及方法。
技术介绍
1、电子级超纯水是半导体工业的基础原料，水量需求大，水质要求高。为保证超纯水的超高产水水质，满足半导体工业的生产要求，超纯水生产工艺复杂。典型的超纯水生产工艺包括多级反渗透(reverse osmosis,ro)处理、多级离子交换树脂处理和紫外线(ultraviolet,uv)处理等步骤。
2、尿素的化学式为co(nh2)2，是一种生产生活中常见的小分子有机物，它是哺乳动物蛋白质代谢的主要产物，是最常用的农业化肥之一，也是重要的工业原料并广泛存在各种类型的水体中。尿素可穿透超纯水生产线，易导致产水有机碳(toc)超标，造成芯片生产良率下降，是超纯水制备中面临的技术难题。因此，高效去除尿素是使用再生水等非常规水源生产超纯水，破解水资源刚性限制，保障半导体制造产品良率的关键。
3、相关技术中，对尿素去除的方法主要包括生物法、物理吸附法、酶解法、化学氧化法、高级氧化法。但是，相关技术尿素去除技术效率低下，不适用于低浓度尿素的高
【技术保护点】
1.一种用于超纯水生产中尿素高效去除的嵌入式装置，其特征在于，所述装置包括阳床、脱碳塔、阴床、氯化剂供给单元和紫外处理单元；
2.根据权利要求1所述的嵌入式装置，其特征在于，所述氯化剂供给单元被设置为在所述阳床之后、所述脱碳塔之前向所述阳床出水中供给氯化剂；
3.根据权利要求1所述的嵌入式装置，其特征在于，所述嵌入式装置还包括：
4.根据权利要求1至3中任一项所述的嵌入式装置，其特征在于，所述阳床包括弱阳床和强阳床，所述氯化剂供给单元被设置为在所述强阳床之后向所述强阳床的阳床出水中供给氯化剂；
5.根据权利要求1至3中任...
【技术特征摘要】
1.一种用于超纯水生产中尿素高效去除的嵌入式装置，其特征在于，所述装置包括阳床、脱碳塔、阴床、氯化剂供给单元和紫外处理单元；
2.根据权利要求1所述的嵌入式装置，其特征在于，所述氯化剂供给单元被设置为在所述阳床之后、所述脱碳塔之前向所述阳床出水中供给氯化剂；
3.根据权利要求1所述的嵌入式装置，其特征在于，所述嵌入式装置还包括：
4.根据权利要求1至3中任一项所述的嵌入式装置，其特征在于，所述阳床包括弱阳床和强阳床，所述氯化剂供给单元被设置为在所述强阳床之后向所述强阳床的阳床出水中供给氯化剂；
5.根据权利要求1至3中任一项所述的嵌入式装置，其特征在于，所述紫外处理单元设置有双波长紫外光源，所述双波长紫外光源能够同时发射波长为185nm...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡洪营，巫寅虎，徐傲，王琦，郭洪发，蔡涵颖，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：
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