【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及惯性导航，具体涉及一种半球锚柱与电极互连的方法及半球谐振陀螺。
技术介绍
1、随着微电子技术和惯性导航系统的迅猛发展，mems元件已广泛应用于航空航天、军事和精密仪器等领域。半球谐振陀螺（hrg）作为高精度惯性导航系统的核心，其关键在于半球振子与锚柱电极之间的高效、稳定连接。
2、目前，半球谐振子锚柱和电极常用的连接技术包括金铟等共晶键合和粘合剂键合等。然而，这些方法在键合条件、长期使用及高可靠性要求的工况下存在一定局限性。例如，金铟共晶键合要求配合孔位的间隙非常小、焊片尺寸和前处理工艺复杂，其它共晶键合如铜锡键合的高温处理可能损伤热敏材料；传统粘合剂存在导电性较差或固化过程产生孔洞等问题，难以满足高性能电气连接和结构强度的要求，并且后续使用易产生水汽、杂质等挥发物，会导致半球谐振陀螺的真空状态恶化，影响陀螺的长期使用寿命。相比之下，纳米铜因其具有表面效应和小尺寸效应等特点，采用纳米铜在半球谐振子锚柱和电极之间进行键合的方案能够在低温条件下烧结，从而能够有效避免高温对微结构的损伤并降低生产成本。同时由于小尺寸效...
【技术保护点】
1.一种半球锚柱与电极互连的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的半球锚柱与电极互连的方法，其特征在于，以所述纳米铜浆的总重量为100%计算，所述纳米铜浆包括68wt%-72wt%的纳米铜颗粒、18wt%-22wt%的分散剂和8wt%-12wt%的粘度调节剂。
3.根据权利要求2所述的半球锚柱与电极互连的方法，其特征在于，所述分散剂为三乙醇胺，所述粘度调节剂为γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷。
4. 根据权利要求1-3任一项所述的半球锚柱与电极互连的方法，其特征在于， 所述低温无压键合工艺的条件为：在真空度小于1...
【技术特征摘要】
1.一种半球锚柱与电极互连的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的半球锚柱与电极互连的方法，其特征在于，以所述纳米铜浆的总重量为100%计算，所述纳米铜浆包括68wt%-72wt%的纳米铜颗粒、18wt%-22wt%的分散剂和8wt%-12wt%的粘度调节剂。
3.根据权利要求2所述的半球锚柱与电极互连的方法，其特征在于，所述分散剂为三乙醇胺，所述粘度调节剂为γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷。
4. 根据权利要求1-3任一项所述的半球锚柱与电极互连的方法，其特征在于， 所述低温无压键合工艺的条件为：在真空度小于1pa及220-270℃下，保温 1.5-2.5h。
5.根据权利要求1-3任一项所述的半球锚柱与电极互连的方法，其特征在于，纳米铜颗粒的直径为...
【专利技术属性】
技术研发人员：王飞，卢广锋，王凡，
申请(专利权)人：湖南二零八先进科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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