【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及分析测试,具体是一种新型超低硅含量测试系统。
技术介绍
1、在现代工业生产和科研实验领域,超纯水的质量把控至关重要,水中硅含量作为衡量超纯水机纯化能力的关键指标,其精确测量是确保超纯水满足各类使用需求的核心环节。在半导体制造、高端电子设备生产等一些前沿科研实验场景中,超纯水中硅含量的把控尤为重要,哪怕出现一点偏差都可能导致实验的失败。
2、近年来,随着各行业对超纯水纯度要求的不断提高,超纯水中低含量硅的测量难度也愈发凸显。目前,普遍采用湿法化学法测量水中硅含量。这一传统测量方法在面对低硅含量时,当硅含量处于极低水平时,其吸光度数值极小,这一测量方法难以准确获取数据。
3、为应对这一难题,业界提出了两种主要解决方案。方案一是先对样水进行浓缩,而后再运用湿法化学法测量,最后根据倍数换算出样水原本的硅含量。该方案中,浓缩单元不仅体积大,占据大量空间,而且造价高昂,这无疑是大幅度增加了检测成本,限制了其在实际生产与科研中的广泛应用。方案二则是通过增大比色皿尺寸,增加光程来提升吸光度测量的准确性,但大比色皿导
...【技术保护点】
1.一种新型超低硅含量测试系统,其特征在于:所述测试系统包括:控制单元(1)、电源(2)、测试单元(3)、泵组(4)、比色池(5)、混液池(6)、溢流池(7)和泄压阀(8);
2.根据权利要求1所述的一种新型超低硅含量测试系统,其特征在于:所述泵组(4)包括三个标准蠕动泵;其中,第一标准蠕动泵的主软管连接所述混液池(6)的第一端,所述第一标准蠕动泵的辅助软管与所述泄压阀(8)相连;第二标准蠕动泵的主软管连接所述混液池(6)的第二端口,所述第二标准蠕动泵的辅助软管与所述泄压阀(8)相连;第三标准蠕动泵的主软管连接所述混液池(6)的第三端,所述第三标准蠕动泵的
...【技术特征摘要】
1.一种新型超低硅含量测试系统,其特征在于:所述测试系统包括:控制单元(1)、电源(2)、测试单元(3)、泵组(4)、比色池(5)、混液池(6)、溢流池(7)和泄压阀(8);
2.根据权利要求1所述的一种新型超低硅含量测试系统,其特征在于:所述泵组(4)包括三个标准蠕动泵;其中,第一标准蠕动泵的主软管连接所述混液池(6)的第一端,所述第一标准蠕动泵的辅助软管与所述泄压阀(8)相连;第二标准蠕动泵的主软管连接所述混液池(6)的第二端口,所述第二标准蠕动泵的辅助软管与所述泄压阀(8)相连;第三标准蠕动泵的主软管连接所述混液池(6)的第三端,所述第三标准蠕动泵的辅助软管与所述溢流池(7)相连。
3.根据权利要求1所述的一种新型超低硅含量测试系统,其特征在于:所述比色池(5)包括第一peek管路、第二peek管路、第一光纤、第二光纤、金属管;其中,第一光纤的第一端与所述第一peek管路的第一端相连;所述第二光纤的第一端与所述第二peek管路的第一端相连;所述金属管将所述第一peek管路、所述第二peek管路的第二端进行连接。
4.根据权利要求3所述的一种新型超低硅含量测试系统,其特征在于:所述测试单元(3)包括光电二极管pd1、光电二极管pd2、光电二极管pd3、发光二极管led1、发光二极管led2;其中,所述光电二极管pd...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱波,杨胜,
申请(专利权)人:常州罗盘星检测科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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