模块化原子力显微镜制造技术

技术编号:45974648 阅读:6 留言:0更新日期:2025-08-01 18:39
本技术属于原子力显微镜领域,具体涉及模块化原子力显微镜,解决了现有技术中存在传统的原子力显微镜的样品架需要人为对样品进行固定,操作较为不便的问题,包括底座,所述底座的上表面安装有激光发射器模块和反射镜,底座上表面的右侧安装有光学显微镜模块、CCD摄像头模块和监视器模块,底座上表面的中部设置有固定模块,固定模块包括开设有与底座内部的空腔,底座的背面固定连接有伺服电机,伺服电机的输出转轴贯穿底座并延伸至底座的内部,伺服电机的输出转轴固定连接有正反螺纹杆,正反螺纹杆的两个螺纹面均螺纹连接有螺环,每个螺环的外表面均固定连接有两个活动板,整体能够实现对样本的自动固定,且整体具备较好的固定效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及原子力显微镜,具体为模块化原子力显微镜


技术介绍

1、目前,原子力显微镜是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器,它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质,将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定,另一端的微小针尖接近样品,这时它将与其相互作用,作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化,扫描样品时,利用传感器检测这些变化,就可获得作用力分布信息,从而以纳米级分辨率获得表面形貌结构信息及表面粗糙度信息。

2、对样品在检测直线,需要人为将样品固定在样品架的上表面,之后再进行监测作业,但是传统的原子力显微镜的样品架需要人为对样品进行固定,操作较为不便。


技术实现思路

1、本技术解决的技术问题是传统的原子力显微镜的样品架需要人为对样品进行固定,操作较为不便,提供模块化原子力显微镜。

2、为解决上述技术问题,本技术提供的模块化原子力显微镜,包括底座,所述底座的上表面安装有激光发射器模块和反射镜,底座上表面的右本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.模块化原子力显微镜,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上表面安装有激光发射器模块(10)和反射镜(9),底座(1)上表面的右侧安装有光学显微镜模块(4)、CCD摄像头模块(5)和监视器模块(6),底座(1)上表面的中部设置有固定模块(2),固定模块(2)包括开设有与底座(1)内部的空腔(206),底座(1)的背面固定连接有伺服电机(203),伺服电机(203)的输出转轴贯穿底座(1)并延伸至底座(1)的内部,伺服电机(203)的输出转轴固定连接有正反螺纹杆(2011),正反螺纹杆(2011)的两个螺纹面均螺纹连接有螺环(204),每个螺环(204)的外表面均固定连接有两个活...

【技术特征摘要】

1.模块化原子力显微镜,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上表面安装有激光发射器模块(10)和反射镜(9),底座(1)上表面的右侧安装有光学显微镜模块(4)、ccd摄像头模块(5)和监视器模块(6),底座(1)上表面的中部设置有固定模块(2),固定模块(2)包括开设有与底座(1)内部的空腔(206),底座(1)的背面固定连接有伺服电机(203),伺服电机(203)的输出转轴贯穿底座(1)并延伸至底座(1)的内部,伺服电机(203)的输出转轴固定连接有正反螺纹杆(2011),正反螺纹杆(2011)的两个螺纹面均螺纹连接有螺环(204),每个螺环(204)的外表面均固定连接有两个活动板(2012),每个活动板(2012)的上表面均固定连接有活动杆(207),底座(1)的上表面开设有两组通槽(201),两组活动杆(207)的顶端分别贯穿两组通槽(201)并延伸至底座(1)的上部,两组活动杆(207)的上表面均固定连接有夹持板(202),两个夹持板(202)之间夹持固定有样本(3)。

2.根据权利要求1所述的模块化原子力显微镜,其特征在于:所述正反螺纹杆(2011)外表面的中部固定连接有第一轴承(2013),第一轴承(2013)的外表面固定连接有支撑板(2014),支撑板(2014)的底面与空腔(206)的内底壁固定连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员:姜红波
申请(专利权)人:上海思长约光学仪器有限公司
类型:新型
国别省市:

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