【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微纳测量，具体涉及一种高精度面形测量系统误差分离与补偿方法及方法。
技术介绍
1、随着社会的飞速发展，高精度测量机的发展给机械制造领域的生产方式、产业结构、人才培养机制、管理方式等方面带来了重大影响，其精度水平不仅是衡量一个国家工业自动化水平的重要标志，也是发展国民经济的一项重要措施。
2、高精度测量仪的精度会受到许多误差源的影响，这些误差源导致机器结构回路中的机器部件的几何形状发生变化，导致实际测头相对于工件的位置与其标称位置不同，从而导致测量误差。现有技术对多误差源的耦合作用处理不足，特别是对动态误差的补偿能力有限。高精度测量仪的误差源主要包括测量仪机台轴系运动误差源、计量系统误差源、测头误差、环境误差、力变形误差等。其中，轴系运动学误差是其重要来源，产生原因是机器部件的几何形状、对齐和尺寸不完美以及它们在机器结构回路中的装配误差等引起。传统误差分离方法难以实现对这些复杂误差的精确识别和补偿。
3、复杂面型测量仪的直接误差主要来源于测量仪内部的机构部件，这是影响测量仪精度的最重要的环节。它起因于...
【技术保护点】
1.一种高精度面形测量系统误差分离与补偿方法，其特征在于，所述高精度面形测量系统包括：高精度测量仪（1）、轴系运动链路模块、高精度计量链路模块和上位机处理模块；
2.根据权利要求1所述的高精度面形测量系统误差分离与补偿方法，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的高精度面形测量系统误差分离与补偿方法，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的高精度面形测量系统误差分离与补偿方法，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的高精度面形测量系统误差分离与补偿方法，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的高精度面形测量系统误差分...
【技术特征摘要】
1.一种高精度面形测量系统误差分离与补偿方法，其特征在于，所述高精度面形测量系统包括：高精度测量仪（1）、轴系运动链路模块、高精度计量链路模块和上位机处理模块；
2.根据权利要求1所述的高精度面形测量系统误差分离与补偿方法，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的高精度面形测量系统误差分离与补偿方法，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的高精度面形测量系统误差分离与补偿方法，其特征在于，
5.根据权利要求3所述的高精度面形测量系统误差分离与补偿方法，其特征在于，
<...【专利技术属性】
技术研发人员：刘芳芳，张浩翔，郑伟辰，孙虎，赵会宁，李红莉，夏豪杰，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：
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