【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及透射电镜练习设备,尤其涉及一种透射电子显微镜模拟进样系统。
技术介绍
1、透射电子显微镜(transmission electron microscope,tem)是材料微观结构表征的重要工具,在材料学、生物学、物理学和化学领域有着广泛的应用。在大型仪器设备开放共享公共服务平台中,tem的使用率非常高,但是由于tem测试的特殊性,需要测试人员亲自操作,占用相当大的时间和精力,导致仪器的使用效率不高。为了解决仪器利用率的问题,需要培训更多的老师和学生进行上机操作。在tem上机培训过程中,进出样品杆掉真空是普遍存在的问题,但是,tem频繁掉真空会对仪器设备造成不可逆的损伤,比如,污染电镜,降低电子光学系统的性能,影响电镜的分辨率和稳定性;同时,会造成电镜其他附件(电子枪、真空泵)的损坏,导致设备故障需要维修等等。为了降低培训过程中掉真空的概率,需要在培训过程中加强tem进出样练习,而练习过程中就会增加掉真空频次,这是一个矛盾的过程,因此,为了解决这个问题,我们设计了一种独立的tem进出样模拟系统,既可以增加培训人员进出样练习的
...【技术保护点】
1.一种透射电子显微镜模拟进样系统,其特征在于:包括设备主体(1)、显示器(2)和抽真空装置(3);
2.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜模拟进样系统,其特征在于:所述检测器为激光探测器(112),共三个一组。
【技术特征摘要】
1.一种透射电子显微镜模拟进样系统,其特征在于:包括设备主体(1)、显示器(2)和抽真空装置(3);
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【专利技术属性】
技术研发人员:暴丽霞,邵瑞文,常晓雪,高培峰,闫丽,
申请(专利权)人:北京理工大学,
类型:发明
国别省市:
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