喷淋装置及线切割机制造方法及图纸

技术编号:45924881 阅读:19 留言:0更新日期:2025-07-25 17:52
本申请实施例提供了一种喷淋装置及线切割机,属于线切割技术领域。喷淋装置用于线切割机,喷淋装置包括喷淋组件和吹气管路,喷淋组件包括喷淋管和多个喷嘴,喷淋管的进液口与供液系统连通,多个喷嘴沿喷淋管的长度方向间隔设置,喷嘴与喷淋管的内部连通,喷嘴用于朝向被切割工件喷洒液体;吹气管路具有吹气口,沿喷嘴内液体的流动方向,吹气口用于朝向喷嘴内的液体吹气。这种喷淋装置能够有效改善驱动电机的退刀扭矩过大的现象。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及线切割,具体而言,涉及一种喷淋装置及线切割机


技术介绍

1、线切割是一种通过切割线高速往复运动,并与被切割工件(比如光伏硅棒、半导体、碳化硅、蓝宝石、磁材等材料)相对移动,以使切割线切割被切割工件的一种加工方法。

2、在线切割机对被切割工件的切割过程中,以被切割工件为硅棒为例,切割线将被切割工件切透以后形成多个硅片,需要将被切割工件提拉以与切割线分离,这个过程叫“退刀”。在退刀过程中,硅片与切割线接触,受到切割线与硅片之间移动的阻力的影响,会造成驱动电机的退刀扭矩过大。

3、通常情况下,退刀过程中采用喷淋管向硅片的侧边缝隙处喷洒液体,减小硅片间的张力,从而减小硅片对切割线的挤压,进而降低驱动电机退刀时的输出扭矩。但是依靠现有的喷淋机构对硅片喷洒液体,还是存在退刀过程中扭矩过大,退刀困难的问题。


技术实现思路

1、本申请实施例提供一种喷淋装置及线切割机,喷淋装置能够有效改善驱动电机的退刀扭矩过大的现象。

2、第一方面,本申请实施例提供一种喷淋装置,喷淋装置用于线切本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种喷淋装置,用于线切割机,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的喷淋装置,其特征在于,所述吹气管路包括:

3.根据权利要求2所述的喷淋装置,其特征在于,所述主管路位于所述喷淋管外,所述支路部分位于所述喷嘴。

4.根据权利要求3所述的喷淋装置,其特征在于,所述喷淋管具有沿第一方向延伸设置的第一流道,所述喷嘴具有沿第二方向延伸设置的第二流道,所述第二流道与所述第一流道连通,所述第一方向为所述喷淋管的轴向,所述第二方向为所述第二流道内液体的流动方向,所述第二方向垂直于所述第一方向。

5.根据权利要求4所述的喷淋装置,其特征在于,所述支...

【技术特征摘要】

1.一种喷淋装置,用于线切割机,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的喷淋装置,其特征在于,所述吹气管路包括:

3.根据权利要求2所述的喷淋装置,其特征在于,所述主管路位于所述喷淋管外,所述支路部分位于所述喷嘴。

4.根据权利要求3所述的喷淋装置,其特征在于,所述喷淋管具有沿第一方向延伸设置的第一流道,所述喷嘴具有沿第二方向延伸设置的第二流道,所述第二流道与所述第一流道连通,所述第一方向为所述喷淋管的轴向,所述第二方向为所述第二流道内液体的流动方向,所述第二方向垂直于所述第一方向。

5.根据权利要求4所述的喷淋装置,其特征在于,所述支路沿所述第二方向穿设于所述第一流道,且所述吹气口位于所述第二流道内。

6.根据权利要求5所述的喷淋装置,其特征在于,所述支路与所述第二流道同轴设置,所述支路的外周壁与所述第二流道的内壁之间具有过水间隙。

7.根据权利要求5所述的喷淋装置,其特征在于,沿所述第二方向,所述支路包括第一管段和第...

【专利技术属性】
技术研发人员:张维肖刘鹏飞高涛孙启童
申请(专利权)人:青岛高测科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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