【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体流量控制领域，特别涉及一种用于控制气体流量的控制装置、控制方法及控制系统。
技术介绍
1、目前，很多的应用场合都要求对气体流量进行准确调节控制，如在一些工业、试验场景中，对气体流量进行精确控制，才能保证试验结果的准确性，而现有的实现气体流量稳定的装置在将气体切断到导通的过程中，气体的流量较慢，气体稳定地达到设定值的时间较长，进而导致测试时间延长，效率低，还可能影响试验结果的准确性。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术中现有的实现气体流量稳定的装置在将气体切断到导通的过程中，气体的流量较慢，气体稳定地达到设定值的时间较长的缺陷，提供一种用于控制气体流量的控制装置、控制方法及控制系统。
2、本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题：
3、本专利技术提供了一种用于控制气体流量的控制装置，所述控制装置包括：控制阀、第一流量监测装置、第一流量调节装置和控制器；
4、连通供气装置的供气管路上依次连接所述第一流量监测...
【技术保护点】
1.一种用于控制气体流量的控制装置，其特征在于，所述控制装置包括：控制阀、第一流量监测装置、第一流量调节装置和控制器；
2.如权利要求1所述的用于控制气体流量的控制装置，其特征在于，
3.如权利要求1所述的用于控制气体流量的控制装置，其特征在于，若所述控制阀处于所述第一状态时，所述控制器用于接收所述第一流量监测装置获取的所述第一气体流量，若所述第一气体流量不满足所述预设气体流量，则控制所述第一流量调节装置调节开度。
4.如权利要求1所述的用于控制气体流量的控制装置，其特征在于，所述控制装置还包括与所述控制器电连接的第二流量调节装置，...
【技术特征摘要】
1.一种用于控制气体流量的控制装置，其特征在于，所述控制装置包括：控制阀、第一流量监测装置、第一流量调节装置和控制器；
2.如权利要求1所述的用于控制气体流量的控制装置，其特征在于，
3.如权利要求1所述的用于控制气体流量的控制装置，其特征在于，若所述控制阀处于所述第一状态时，所述控制器用于接收所述第一流量监测装置获取的所述第一气体流量，若所述第一气体流量不满足所述预设气体流量，则控制所述第一流量调节装置调节开度。
4.如权利要求1所述的用于控制气体流量的控制装置，其特征在于，所述控制装置还包括与所述控制器电连接的第二流量调节装置，所述第二流量调节装置设置在所述供气管路上且位于所述第一流量监测装置和所述控制阀之间；
5.如权利要求4所述的用于控制气体流量的控制装置，其特征在于，所述控制装置还包括与所述控制器电连接的第二流量监测装置，所述第二流量监测装置设置在所述第一支路且位于所述用气装置处，所述第二流量监测装置用于实时监测所述用气装置处的第二气体流量。
【专利技术属性】
技术研发人员：翟书伟，顾潮冰，赵博鸿，叶晓明，
申请(专利权)人：上海核原环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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