一种用于真空内的力执行器制造技术

本发明专利技术提供一种用于真空内的力执行器，涉及精密光机电领域。本发明专利技术提供的一种用于真空内的力执行器，包括密闭的安装外壳，安装外壳的内腔中设有套筒和紧固件，套筒和紧固件分别与安装外壳可拆卸连接，套筒的外壁与安装外壳的内壁相接触；套筒的内腔中设有磁体运动式的音圈电机和环绕于音圈电机外部的质量块，音圈电机的线圈模组与紧固件相连接，音圈电机的磁铁模组与质量块相连接；质量块的顶部与套筒的顶部之间通过第一运动组件连接，质量块的底部与套筒的底部之间通过第二运动组件连接。本发明专利技术将传统工艺生产的装置封装于低放气率材料中，形成封闭设备，从而实现了在不改变传统设备使用条件下将其应用于真空系统中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及精密光机电领域，特别是一种用于真空内的力执行器。

技术介绍

1、真空系统是指用于产生、维持和测量低于大气压环境的装置。其主要目的是在特定区域内移除空气或其他气体，以实现特定的工业、科研或实验需求。为了确保真空系统的有效运行和长期稳定性，其内部装置需要满足一系列严格的要求。例如所选用的材料需要具有极低气体释放率，以避免在高真空或超高真空中引入不必要的气体分子。一般来说不锈钢因其良好的机械性能和低气体释放率广泛用于真空室和管道。铜常用于电连接和散热部件，具有良好的导电性和可焊性。而玻璃和陶瓷用于光学窗口和其他需要透明或绝缘特性的部件。

2、在真空系统内，需要针对不同的真空度和使用条件对真空内设备进行特别设计，对于某些真空内用的力执行机构来说更是如此。传统的力执行机构因所使用的材料在真空环境下有较高的放气率使其无法满足特定的真空度要求，所以需要针对各种设备进行特殊定制，既浪费了时间，也增加了成本。因此在不改变传统设备使用条件(真空外)下将其应用于真空系统是有必要的。

3、综上所述，先亟需一款能够在不改变传统设备使用条件下将其本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于真空内的力执行器，其特征在于：包括密闭的安装外壳(1)，所述安装外壳(1)的内腔中设有套筒(2)和紧固件(3)，所述套筒(2)和紧固件(3)分别与安装外壳(1)可拆卸连接，所述套筒(2)的外壁与安装外壳(1)的内壁相接触；

2.根据权利要求1所述的用于真空内的力执行器，其特征在于：所述第一运动组件(6)包括第一弹簧片(61)和第一固定件(62)，所述第一弹簧片(61)从内至外依次包括内圈(101)、连接圈(102)和外圈(103)，所述第一弹簧片(61)的内圈(101)通过第一固定件(62)与质量块(5)的顶部可拆卸连接，所述第一弹簧片(61)的外圈(103)被夹...

【技术特征摘要】

1.一种用于真空内的力执行器，其特征在于：包括密闭的安装外壳(1)，所述安装外壳(1)的内腔中设有套筒(2)和紧固件(3)，所述套筒(2)和紧固件(3)分别与安装外壳(1)可拆卸连接，所述套筒(2)的外壁与安装外壳(1)的内壁相接触；

2.根据权利要求1所述的用于真空内的力执行器，其特征在于：所述第一运动组件(6)包括第一弹簧片(61)和第一固定件(62)，所述第一弹簧片(61)从内至外依次包括内圈(101)、连接圈(102)和外圈(103)，所述第一弹簧片(61)的内圈(101)通过第一固定件(62)与质量块(5)的顶部可拆卸连接，所述第一弹簧片(61)的外圈(103)被夹持于套筒(2)的顶部与紧固件(3)的底部之间。

3.根据权利要求2所述的用于真空内的力执行器，其特征在于：所述第一运动组件(6)还包括弹簧垫块(8)，所述弹簧垫块(8)的底部和第一弹簧片(61)的顶部相接触，所述弹簧垫块(8)和第一弹簧片(61)被夹持于套筒(2)的顶部与紧固件(3)的底部之间。

4.根据权利要求1所述的用于真空内的力执行器，其特征在于：所述第二运动组件(7)包括第二弹簧片(71)和第二固定件(72)，所述第二弹簧片(71)从内至外依次包括内圈(101)、连接圈(102)和外圈(103)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘芳，袁浩然，陈诺，刘志，
申请(专利权)人：上海科技大学，
类型：发明
国别省市：