用于裸片附接设备的夹具制造技术

技术编号:45836767 阅读:16 留言:0更新日期:2025-07-15 22:43
提供了用于裸片附接设备的夹具。所述夹具可包括:至少一个安装块,包括至少两个固持表面,所述至少两个固持表面中的每个被配置为:固持其上安装半导体裸片的封装基底,并且围绕沿着第一水平方向延伸的旋转轴旋转;以及清洁装置,被配置为清洁所述至少两个固持表面之中的目标固持表面,目标固持表面是所述至少两个固持表面之中的面对清洁装置的固持表面。

【技术实现步骤摘要】

各种示例实施例涉及夹具、包括夹具的裸片附接设备、包括夹具的系统和/或操作夹具的方法等。更具体地,一个或多个示例实施例涉及被配置为支撑其上安装有半导体裸片的封装基底的夹具、包括夹具的裸片附接设备、包括夹具的系统和/或操作夹具的方法等。


技术介绍

1、通常,裸片附接设备可将半导体裸片附接到封装基底。裸片附接设备可包括被配置为固持半导体裸片的安装头(mount head)和被配置为支撑封装基底的夹具。

2、当颗粒沉积和/或插入夹具与封装基底之间时,半导体裸片可能不能精确地和/或完全地附接到封装基底。因此,执行周期性目视检查,以检查在夹具与封装基底之间是否存在颗粒和/或碎屑。由于应在停止裸片附接工艺时执行周期性目视检查,因此在裸片附接工艺中经历延迟。

3、此外,当确认在夹具与封装基底之间可能存在颗粒和/或碎屑时,可能期望和/或需要中断裸片附接工艺以对夹具和/或封装基底进行清洁。在裸片附接工艺被停止的状态下,执行用于去除颗粒和/或碎屑的单独的清洁工艺。因此,可进一步增加裸片附接工艺时间。


技术实现思路...

【技术保护点】

1. 一种用于裸片附接设备的夹具,所述夹具包括:

2.根据权利要求1所述的夹具,其中,所述至少一个安装块包括单个安装块。

3. 根据权利要求2所述的夹具,其中,所述至少两个固持表面包括:

4.根据权利要求3所述的夹具,其中,所述至少一个安装块还包括:

5.根据权利要求3所述的夹具,其中,所述至少一个安装块还包括:

6.根据权利要求1所述的夹具,其中,

7.根据权利要求6所述的夹具,其中,第一安装块和第二安装块具有相同的形状和尺寸。

8.根据权利要求6所述的夹具,其中,第一安装块还包括:

9.根...

【技术特征摘要】

1. 一种用于裸片附接设备的夹具,所述夹具包括:

2.根据权利要求1所述的夹具,其中,所述至少一个安装块包括单个安装块。

3. 根据权利要求2所述的夹具,其中,所述至少两个固持表面包括:

4.根据权利要求3所述的夹具,其中,所述至少一个安装块还包括:

5.根据权利要求3所述的夹具,其中,所述至少一个安装块还包括:

6.根据权利要求1所述的夹具,其中,

7.根据权利要求6所述的夹具,其中,第一安装块和第二安装块具有相同的形状和尺寸。

8.根据权利要求6所述的夹具,其中,第一安装块还包括:

9.根据权利要求6所述的夹具,其中,第二安装块还包括:

10.根据权利要求6所述的夹具,还包括:

11.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:曺相永
申请(专利权)人:三星电子株式会社
类型:发明
国别省市:

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