【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高精度温度计校准,具体涉及一种基于低温环路热管的高精度温度计校准装置。
技术介绍
1、随着集成电路等领域的发展,对低温恒温系统的稳定性要求越来越高。传统的制冷与恒温系统往往难以实现高精度的温度控制,温度波动较大,难以满足对温度敏感的集成电路的使用需求。
2、现有技术中用于低温校准的装置普遍存在以下缺陷:传统制冷系统(如斯特林制冷机或gm制冷机)在传递冷量时,因机械振动引起的温度波动难以消除,导致校准环境存在±0.1℃以上的温度梯度。部分低温恒温器采用多级冷沉结构,通过分级冷却降低漏热,从而支持多通道参数测量。此类设计虽能提升测试效率,但其热传导效率受限于冷沉材料的导热性能及结构优化程度,未引入高性能导热介质或优化传热路径,导致冷量分布不均。
3、另一方面,低温环路热管技术虽能提升传热效率,但在开放式结构中,蒸发段与冷凝段易受外部热辐射干扰,导致控温稳定性不足。现有均热块多采用单一冷源直连方式,缺乏动态温度补偿机制,当制冷机冷量波动时,均热块内部易出现局部过热或过冷现象,影响铂电阻温度计的校准一致性。
4、因本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于低温环路热管的高精度温度计校准装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的基于低温环路热管的高精度温度计校准装置,其特征在于,所述蒸发器、所述储液器和所储气罐均位于二级冷屏和三级冷屏之内,所述二级冷屏和三级冷屏之间的一侧设有所述蒸发器,另一侧设有所述储气罐,所述蒸发器上端通过第一管路连通所述储气罐,所述第一管路路径上设有分叉管路,所述蒸发器通过分叉管路穿过所述三级冷屏连接所述低温环路热管上端,所述储液器通过第二管路穿过所述三级冷屏连接所述低温环路热管下端。
3.根据权利要求1或2所述的基于低温环路热管的高精度温度计校准装置,其
...【技术特征摘要】
1.一种基于低温环路热管的高精度温度计校准装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的基于低温环路热管的高精度温度计校准装置,其特征在于,所述蒸发器、所述储液器和所储气罐均位于二级冷屏和三级冷屏之内,所述二级冷屏和三级冷屏之间的一侧设有所述蒸发器,另一侧设有所述储气罐,所述蒸发器上端通过第一管路连通所述储气罐,所述第一管路路径上设有分叉管路,所述蒸发器通过分叉管路穿过所述三级冷屏连接所述低温环路热管上端,所述储液器通过第二管路穿过所述三级冷屏连接所述低温环路热管下端。
3.根据权利要求1或2所述的基于低温环路热管的高精度温度计校准装置,其特征在于,所述蒸发器内设有毛细芯,所述毛细芯采用双层复合结构烧结毛细芯。
4.根据权利要求1所述的基于低温环路热管的高精度温度计校准装置,其特征在于,所述安装结构包括凹槽和压线板,所述均热块上设有凹槽,凹槽周围设有压线板;铂电阻温度计嵌入所述凹槽内由所述压线板固定,其接线连接至外部的接线端子板;所述真空罩与所述接线端子板通过法兰固定连接。
5.根据权利要求1所述的基于低温环路热管的高精度温度计校准装置,特征在于,所述均热...
【专利技术属性】
技术研发人员:曾凡超,龚成,汤雄,李兴运,张玉婷,张涛,
申请(专利权)人:湖北省计量测试技术研究院,
类型:发明
国别省市:
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