陶瓷基板清洗载具制造技术

陶瓷基板清洗载具，包括吊架和可拆卸的装在吊架上的承托杆，其特征在于：所述的承托杆的数量为至少两根，承托杆包括杆体、间隙配合套在杆体上的隔套和间隙配合套在杆体上的挡套，挡套夹在相邻的隔套之间，挡套的外径小于隔套的外径，在相邻隔套之间形成配合槽，杆体端部通过螺栓紧固在吊架上，基板垂直支撑在承托杆上并卡在配合槽中。本技术可根据基板的厚度选择不同长度的挡套使形成的配合槽可对基板有效定位，适用于不同厚度基板的承托，可更换不同长度的隔套来调节承托杆上配合槽的数量，以承托不同数量的基板，提高清洗效率，并实现对方形基板的清洗托承，实用性高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种陶瓷基板清洗载具，属于基板清洗载具。

技术介绍

1、陶瓷基板是指铜箔在高温下直接键合到氧化铝(al2o3)或氮化铝(aln)陶瓷基片表面(单面或双面)上的特殊工艺板。所制成的超薄复合基板具有优良电绝缘性能，高导热特性，优异的软钎焊性和高的附着强度，并可像pcb板一样能刻蚀出各种图形，具有很大的载流能力。陶瓷基板已成为大功率电力电子电路结构技术和互连技术的基础材料。陶瓷基板在进行研磨抛光、切片等工序后还需要对其表面进行清洗，现有基板清洗载具存在以下问题：

2、1.现有载具多为注塑工艺生产，载具尺寸固定，只能承托一种规格的基板，且单个载具所装基板数量是固定的，较难扩展，清洗效率效率较低。

3、2.多为圆形晶圆清洗载具，不适用于方形基板，方形基板无标准化载具，需定制。

技术实现思路

1、本技术提供的陶瓷基板清洗载具，可根据基板的厚度选择不同长度的挡套使形成的配合槽可对基板有效定位，适用于不同厚度基板的承托，可更换不同长度的隔套来调节承托杆上配合槽的数量，以承托不同数量的基板，提本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.陶瓷基板清洗载具，包括吊架和可拆卸的装在吊架上的承托杆，其特征在于：所述的承托杆的数量为至少两根，承托杆包括杆体、间隙配合套在杆体上的隔套和间隙配合套在杆体上的挡套，挡套夹在相邻的隔套之间，挡套的外径小于隔套的外径，在相邻隔套之间形成配合槽，杆体端部通过螺栓紧固在吊架上，基板垂直支撑在承托杆上并卡在配合槽中。

2.根据权利要求1所述的陶瓷基板清洗载具，其特征在于：所述的吊架包括两块挡板和通过螺栓连接在两块挡板之间的吊杆，吊杆的数量为两根且水平对齐分布，承托杆设置在两块挡板之间且平行设置在吊杆下方，杆体的端部贯穿挡板并通过螺栓紧固。

3.根据权利要求2所述的陶瓷...

【技术特征摘要】

1.陶瓷基板清洗载具，包括吊架和可拆卸的装在吊架上的承托杆，其特征在于：所述的承托杆的数量为至少两根，承托杆包括杆体、间隙配合套在杆体上的隔套和间隙配合套在杆体上的挡套，挡套夹在相邻的隔套之间，挡套的外径小于隔套的外径，在相邻隔套之间形成配合槽，杆体端部通过螺栓紧固在吊架上，基板垂直支撑在承托杆上并卡在配合槽中。

2.根据权利要求1所述的陶瓷基板清洗载具，其特征在于：所述的吊架包括两块挡板和通过螺栓连接在两块挡板之间的吊杆，吊杆的数量为两根且水平对齐分布，承托杆设置在两块挡...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴雪峰，林枫，杜登波，杨兵，
申请(专利权)人：湖南中豪微纳科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：