一种复合电极及其制备方法及光电器件技术

本申请涉及光电技术领域，尤其涉及一种复合电极及其制备方法及光电器件，其中，所述复合电极包括层叠设置的种子层以及导电层；种子层包括第一子种子层，第一子种子层为非连续种子层。本申请提供的复合电极中导电层的连续性好，透过率高且方阻较低。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光电，尤其涉及一种复合电极及其制备方法及光电器件。

技术介绍

1、目前，光电器件的电极一般采用金属导电材料制成。然而，由于电极形成时具有阈值厚度，低于该阈值厚度时，容易导致电极呈非连续薄膜形态，从而降低电极的电学和光学传输性能。

技术实现思路

1、基于此，本申请提供一种复合电极及其制备方法及光电器件。

2、为了解决上述技术问题，本申请实施例提供一种复合电极，采用了如下所述的技术方案：

3、一种复合电极，所述复合电极包括层叠设置的种子层和导电层；

4、所述种子层包括第一子种子层，所述第一子种子层为非连续种子层。

5、进一步地，所述第一子种子层包括多个间隔设置的岛状单元；和/或，

6、所述种子层还包括第二子种子层和第三子种子层，所述第三子种子层靠近所述导电层设置，所述第一子种子层设于所述第二子种子层与所述第三子种子层之间。

7、进一步地，所述岛状单元的平均高度为0.3～3nm；和/或，

8、所述岛状单元的平均直径为0.0本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种复合电极，其特征在于，所述复合电极包括层叠设置的种子层和导电层；

2.根据权利要求1所述的复合电极，其特征在于，所述第一子种子层包括多个间隔设置的岛状单元；和/或，

3.根据权利要求2所述的复合电极，其特征在于，所述岛状单元的平均高度为0.3～3nm；和/或，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的复合电极，其特征在于，所述导电层的厚度为18～25nm；和/或，

5.根据权利要求1至3中任一项所述的复合电极，其特征在于，所述复合电极还包括层叠设于所述导电层上的介电层；

6.一种复合电极的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：...

【技术特征摘要】

1.一种复合电极，其特征在于，所述复合电极包括层叠设置的种子层和导电层；

2.根据权利要求1所述的复合电极，其特征在于，所述第一子种子层包括多个间隔设置的岛状单元；和/或，

3.根据权利要求2所述的复合电极，其特征在于，所述岛状单元的平均高度为0.3～3nm；和/或，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的复合电极，其特征在于，所述导电层的厚度为18～25nm；和/或，

5.根据权利要求1至3中任一项所述的复合电极，其特征在于，所述复合电极还包括层叠设于所述导电层上的介电层；

6.一种复合电极的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：

7.根据权利要求6所述的复合电极的制备方法，其特征在于，所述通入第一金属蒸汽沉积形成第一子种子层的步骤中，沉积时间为1～20s；和/或，

8.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：李松举，孙贤文，付东，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：